[发明专利]薄介电质通孔中足够厚竖向厚度的电可靠桥的部件承载件在审
| 申请号： | 201910101365.6 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN111508925A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 伊斯迪;钟永琴;窦玉村;郑惜金 | 申请（专利权）人： | 奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/498 | 分类号： | H01L23/498;H01L21/48 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦;洪玉姬 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 部件承载件(100)，其中，部件承载件(100)包括具有第一主表面(104)和第二主表面(106)的电绝缘层结构(102)、在第一主表面(104)与第二主表面(106)之间延伸穿过电绝缘层结构(102)的通孔(108)、以及连接电绝缘层结构(102)的对通孔(108)进行限界的相对的侧壁(116)的导电桥结构(114)，其中，电绝缘层结构(102)的竖向厚度(d)不超过200μm，并且桥结构(114)的最窄竖向厚度(D)为至少20μm。 | ||
| 搜索关键词： | 薄介电质通孔中 足够 竖向 厚度 可靠 部件 承载 | ||
【主权项】：
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