[发明专利]部件承载件的通孔中的悬伸部补偿式环形镀层在审
申请号: | 201910101272.3 | 申请日: | 2019-01-31 |
公开(公告)号: | CN111508924A | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 阿卜德尔拉扎克·伊菲斯 | 申请(专利权)人: | 奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L21/48 |
代理公司: | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人: | 魏彦;洪玉姬 |
地址: | 奥地利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种部件承载件,包括:具有前侧和后侧的电绝缘层结构;覆盖电绝缘层结构的前侧的第一导电层结构;覆盖电绝缘层结构的后侧的第二导电层结构;延伸穿过第一导电层结构、电绝缘层结构和第二导电层结构的通孔,其中,在一方面的第一导电层结构与第二导电层结构中的至少一者与另一方面的电绝缘层结构的对通孔进行限界的侧壁之间形成悬伸部;以及环形镀层,该环形镀层覆盖侧壁并且填充悬伸部的至少一部分,使得悬伸部的在镀覆之后的水平延伸部小于20μm,和/或使得一方面的悬伸部的在镀覆之后的水平延伸部与另一方面的延伸穿过第一导电层结构的第一窗口的宽度和/或延伸穿过第二导电层结构的第二窗口的宽度之间的比率小于20%。 | ||
搜索关键词: | 部件 承载 中的 悬伸部 补偿 环形 镀层 | ||
【主权项】:
暂无信息
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