[发明专利]一种太阳能电池的制备方法

摘要

本发明提供了一种太阳能电池的制备方法，包括第一次制绒、第二次制绒、磷扩散、掩膜、刻蚀清洗、PECVD镀膜、电极制备、烧结、激光打孔、涂覆绝缘层、填充导电浆料、干燥固化。本申请通过增加一次制绒工序，增加一个制绒面，进而增加PN结，可以提高载流子的收集，提高太阳能电池的转化效率；通过将激光打孔置于烧结之后，可以降低激光打孔时的碎片率，提高太阳能电池的生产效率；通过在填充导电浆料之前多增加一道在孔洞内壁涂覆绝缘层的工序，可以避免反向漏电，提高太阳能电池制备使用的安全性。

主权项

1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：S1、第一次制绒：在硅体正表面进行第一次制绒，形成一个制绒面；S2、第二次制绒：在硅体背表面进行第二次制绒，形成两个制绒面；S3、磷扩散：使用三氯氧磷液态源作为扩散源，在绒面上扩散掺杂形成PN结；S4、掩膜：在硅体背表面制备起刻蚀掩蔽作用的掩膜；S5、刻蚀清洗：使用化学溶液进行刻蚀，去除硅体周边及背面多余的PN结，清洗有机掩膜，去除掩膜浆料，去除扩散后硅衬底表面形成的磷硅玻璃；S6、PECVD镀膜：在硅体正表面先镀一层氧化铝，再镀一层氮化硅，形成减反射膜；S7、电极制备：在硅体的表面制作上下电极；S8、烧结：将硅体送入烧结炉烧结；S9、激光打孔：利用激光器对硅体进行矩阵型钻孔，形成导电穿孔；S10、填充导电浆料：采用丝网印刷或者喷墨打印或者压铸等方式将导电浆料或者导电胶灌入孔洞中；S11、干燥固化：采用恒温烘箱，设定烘干温度为100‑200℃，烘干时间10分钟。