[发明专利]半导体存储装置有效
申请号: | 201910085556.8 | 申请日: | 2019-01-29 |
公开(公告)号: | CN110911498B | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 山下博幸;森伸二;泽敬一;松尾和展;松田和久;斋藤雄太;高桥笃史;田中正幸 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/792 | 分类号: | H01L29/792;H10B43/27;H10B43/35 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 夏斌 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 实施方式提供一种可靠性提高了的半导体存储装置。实施方式的半导体存储装置具备:半导体层;栅极电极;第1绝缘层,设置于半导体层与栅极电极之间;第2绝缘层,设置于第1绝缘层与栅极电极之间;区域,设置于第1绝缘层与第2绝缘层之间,且包含金属或半导体;以及覆盖层,包围区域,且包含硅以及氮。 | ||
搜索关键词: | 半导体 存储 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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