[发明专利]制造氧化物膜的设备和方法及包括该氧化物膜的显示设备

摘要

公开了一种制造氧化物膜的设备和方法及包括该氧化物膜的显示设备。其中包括具有不同蒸气压的多个有机金属的氧化物膜形成在基板上并且具有均匀的成分和厚度。该制造氧化物膜的设备包括：下部腔室；基座；腔室盖，其包括第一气体注入口和一个或多个第二气体注入口；气体分配模块；第一源容器模块，其连接至第一气体注入口，用于提供具有第一蒸气压的第一源气体；第一载气供应模块，其给第一源容器模块供应第一载气；第二源容器模块，其连接至第一气体注入口，用于提供具有与第一蒸气压不同的第二蒸气压的第二源气体；推动气体供应模块，其给第二源容器模块与第一气体注入口之间的气体通路供应推动气体；反应气体供应模块；和吹扫气体供应模块。

主权项

1.一种用于制造氧化物膜的设备，所述设备包括：下部腔室，所述下部腔室包括反应空间；基座，所述基座安装在所述反应空间中以支撑基板；腔室盖，所述腔室盖包括第一气体注入口和一个或多个第二气体注入口并且密封所述反应空间；气体分配模块，所述气体分配模块安装在所述腔室盖中以面对所述基座并且连接至所述第一气体注入口和所述一个或多个第二气体注入口；第一源容器模块，所述第一源容器模块连接至所述第一气体注入口，用于提供具有第一蒸气压的第一源气体；第一载气供应模块，所述第一载气供应模块给所述第一源容器模块供应第一载气；第二源容器模块，所述第二源容器模块连接至所述第一气体注入口，用于提供具有与所述第一蒸气压不同的第二蒸气压的第二源气体；推动气体供应模块，所述推动气体供应模块给所述第二源容器模块与所述第一气体注入口之间的气体通路供应推动气体；反应气体供应模块，所述反应气体供应模块给所述一个或多个第二气体注入口供应反应气体；和吹扫气体供应模块，所述吹扫气体供应模块给所述第一气体注入口供应吹扫气体。