[发明专利]金属对金属电容器有效
申请号: | 201910067991.8 | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN110120384B | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | Y·C·A·付;M·克拉玛特;V·斯里尼瓦斯 | 申请(专利权)人: | 苹果公司 |
主分类号: | H01L23/64 | 分类号: | H01L23/64 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明题为“金属对金属电容器”。本公开描述了具有间距匹配的电容器晶胞的电容器结构。在一个实施方案中,电容器晶胞是由相互叉握的指状电极形成的。指状电极在电容器晶胞内的多个金属层当中可以是间距匹配的,并且指状电极在电容器晶胞的阵列之中可以是间距匹配的。此外,边界晶胞可与电容器晶胞间距匹配。 | ||
搜索关键词: | 金属 电容器 | ||
【主权项】:
1.一种电容器结构,包括:电容器晶胞的阵列,所述电容器晶胞的阵列被多个边界晶胞包围;每个电容器晶胞包括与第二多个指状电极交叉的第一多个指状电极;每个边界晶胞包括与第二多个虚设指状电极交叉的第一多个虚设指状电极;以及其中所述第一多个指状电极和第二多个指状电极跨越所述电容器晶胞的阵列间距匹配,并且所述第一多个虚设指状电极和第二多个虚设指状电极与所述第一多个指状电极和第二多个指状电极间距匹配。
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