[发明专利]透明导电层制备方法、发光二极管及其制备方法有效
| 申请号： | 201910046724.2 | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN109802016B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 廖峻尉;李家安;陈志豪;张国华;陈柏松 | 申请（专利权）人： | 芜湖德豪润达光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/26;H01L33/42 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 郭玮;李双皓 |
| 地址： | 241000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请提供一种透明导电层制备方法、发光二极管及其制备方法。所述透明导电层制备方法通过湿式球磨法将所述铟锡氧化物粉末进行研磨制作铟锡氧化物纳米浆料，可以取代制程繁杂与昂贵的靶材，价格低操作简单。同时，通过印刷涂布法操作简单方便，降低了设备成本，实现常温常压条件下快速与大面积生产，有效提高了产能。所述铟锡氧化物纳米浆料为纳米等级且均匀性一致，热处理后可形成高质量的氧化铟锡透明导电层，提升了穿透率与导电率，提高发光二极管质量。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 导电 制备 方法 发光二极管 及其 | ||
【主权项】：
1.一种透明导电层制备方法，其特征在于，包括：S10，提供外延层结构、氧化铟粉末、氧化锡粉末以及无水乙醇；S20，将所述氧化铟粉末与所述氧化锡粉末以9:1比例混合，并搭配所述无水乙醇配置铟锡氧化物粉末；S30，将所述铟锡氧化物粉末加入湿式球磨机，并将所述铟锡氧化物粉末与氧化锆磨球混合进行研磨，获得铟锡氧化物纳米浆料；S40，在常温常压环境下，将所述铟锡氧化物纳米浆料喷涂于所述外延层结构的表面，形成铟锡氧化物薄膜；S50，将喷涂有所述铟锡氧化物薄膜的所述外延层结构放置于高温炉管进行400℃～600℃热处理，形成氧化铟锡透明导电层。
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