[发明专利]靶材的铜合金背板的制作方法在审
| 申请号： | 201910019352.4 | 申请日： | 2019-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111424244A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;周友平;边逸军;庞学功;杨慧珍 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司;丹东华强有色金属加工有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22D27/02;C22C1/02;C22C1/06;C22C9/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材的铜合金背板的制作方法，包括以下步骤：提供铜合金熔液；将所述铜合金熔液进行浇注，并在浇注时进行浇注搅拌。通过所述浇注搅拌，使所述铜合金熔液能够在锭模内产生流动，减少了所述铜合金熔液与所述锭模的接触压力，同时，所述锭模内各个位置的熔液之间的温度梯度降低，从而能够提高铜合金铸锭晶粒的均匀性，避免了产生裂纹等缺陷，提高了铜合金背板的质量，进而提高了铜合金背板和靶坯之间的焊接强度，为靶材溅射的正常进行提供了保障。 | ||
| 搜索关键词： | 铜合金 背板 制作方法 | ||
【主权项】：
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