[发明专利]一种高精度激光干涉加速度计在审
| 申请号： | 201910016980.7 | 申请日： | 2019-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN109682992A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 李祝;黄祥青;段会宗;骆颖欣;涂良成;叶贤基;覃璇 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01P15/093 | 分类号： | G01P15/093 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度激光干涉加速度计，包括固定框架、激光器、第一干涉测量光路、第二干涉测量光路、质量块、第一高反膜、第二高反膜、磁吸复位装置以及数字反馈电路；所述数字反馈电路基于第一干涉测量光路以及第二干涉测量光路中干涉信号的相位的变化，通过差分形式计算质量块的位移及加速度，然后通过控制磁吸复位装置使质量块复位。由于形成了两套干涉测量光路并通过差分形式输出进行测量加速度，将质量块的位移信号放大了一倍，抑制了环境、激光频率等共模噪声的影响，有效地提高了加速度计的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉测量 光路 质量块 加速度计 高精度激光 复位装置 数字反馈 高反膜 磁吸 电路 测量 干涉信号 共模噪声 固定框架 激光频率 位移信号 形式计算 形式输出 激光器 有效地 干涉 复位 两套 放大 | ||
【主权项】：
1.一种高精度激光干涉加速度计，其特征在于，包括固定框架(101)、激光器(201)、第一干涉测量光路、第二干涉测量光路、质量块(103)、第一高反膜(109)、第二高反膜(110)、磁吸复位装置以及数字反馈电路(208)；所述质量块(103)的一端通过挠性结构(102)与所述固定框架(101)连接，所述质量块(103)的另一端固定连接在磁吸复位装置上，所述质量块(103)的左右两侧面上分别安装有第一高反膜(109)及第二高反膜(110)，第一干涉测量光路、第二干涉测量光路分别设置于所述第一高反膜(109)、第二高反膜(110)的一侧；其中第一干涉测量光路包括第一分光镜(204)、第一光电探测器(206)、第一反射镜(202)，加速度发生变化时，质量块(103)发生位移，激光器(201)发出的光束通过第一分光镜(204)分成两束光，其中一束光照射到第一高反膜(109)后通过第一高反膜(109)的反射作用反射至第一分光镜(204)处；另一束光照射到第一反射镜(202)后通过第一反射镜(202)的反射作用反射至第一分光镜(204)处，两束光在第一分光镜(204)处发生干涉，并入射至第一光电探测器(206)；其中第二干涉测量光路包括第二分光镜(205)、第二光电探测器(207)、第二反射镜(203)，加速度发生变化时，质量块(103)发生位移，激光器(201)发出的光束通过第二分光镜(205)分成两束光，其中二束光照射到第二高反膜(110)后通过第二高反膜(110)的反射作用反射至第二分光镜(205)处；另二束光照射到第二反射镜(203)后通过第二反射镜(203)的反射作用反射至第二分光镜(205)处，两束光在第二分光镜(205)处发生干涉，并入射至第二光电探测器(207)；所述数字反馈电路(208)基于第一干涉测量光路以及第二干涉测量光路中干涉信号的相位的变化，通过差分形式计算质量块(103)的位移及加速度，然后通过控制磁吸复位装置使质量块(103)复位。
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