[发明专利]带电粒子束检测器、电子显微镜、电子束能量损失分光装置以及摄像装置在审
| 申请号： | 201880094245.1 | 申请日： | 2018-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN112236838A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 小松正明;今村伸;田村圭司;锻示和利;冈田聪 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴秋明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 带电粒子束检测器具备：将包含荧光体粒子的荧光层和金属层层叠的层叠体，其特征在于，具备设于所述金属层与所述荧光层之间的树脂层。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 检测器 电子显微镜 电子束 能量 损失 分光 装置 以及 摄像 | ||
【主权项】：
暂无信息
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