[发明专利]带电粒子束检测器、电子显微镜、电子束能量损失分光装置以及摄像装置在审
| 申请号： | 201880094245.1 | 申请日： | 2018-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN112236838A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 小松正明;今村伸;田村圭司;锻示和利;冈田聪 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴秋明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 检测器 电子显微镜 电子束 能量 损失 分光 装置 以及 摄像 | ||
1.一种带电粒子束检测器，检测带电粒子，且具备：将包含荧光体粒子的荧光层和金属层层叠的层叠体，
所述带电粒子束检测器的特征在于，
具备设于所述金属层与所述荧光层之间的树脂层。
2.根据权利要求1所述的带电粒子束检测器，其特征在于，
所述树脂层是火棉胶膜。
3.根据权利要求1所述的带电粒子束检测器，其特征在于，
所述树脂层的与所述荧光层相接的面的表面粗糙度即第一Ra比所述树脂层的与所述金属层相接的面的表面粗糙度即第二Ra大。
4.根据权利要求1所述的带电粒子束检测器，其特征在于，
所述金属层对光进行镜面反射的区域的面积是所述金属层和所述树脂层相接的面积的10％以上。
5.根据权利要求1所述的带电粒子束检测器，其特征在于，
所述金属层在所述金属层和所述树脂层相接的区域内没有针孔。
6.根据权利要求1所述的带电粒子束检测器，其特征在于，
所述荧光层的平均厚度为10μm以下。
7.根据权利要求1所述的带电粒子束检测器，其特征在于，
所述金属层是铝膜。
8.根据权利要求1所述的带电粒子束检测器，其特征在于，
所述荧光体粒子的平均粒径为2μm以下。
9.一种电子显微镜，其特征在于，具备1～8中任一项所述的带电粒子束检测器。
10.一种电子束能量损失分光装置，其特征在于，具备1～8中任一项所述的带电粒子束检测器。
11.一种摄像装置，其特征在于，具备权利要求1～8中任一项所述的带电粒子束检测器。
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