[发明专利]一种电子显微镜外罩式真空箱装置在审
| 申请号： | 202010014354.7 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN111128653A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 杨艳娜;郭新勇;张康;李盛;董宝杰 | 申请（专利权）人： | 河南河大科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/18 | 分类号： | H01J37/18;H01J37/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 475000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子显微镜外罩式真空箱装置，将电子显微镜主机置于真空箱中，为电子显微镜提供低真空状态的工作环境。该装置包括：真空箱（1）、机械泵（2）、机械手（3）、电子显微镜（4）。本发明设计一种电子显微镜外罩式真空箱装置，将电子显微镜整体置于其中，实现电镜在粗真空环境下工作，人员在真空外操作，以减少工作环境中不良因素对电子显微镜的影响，提高电子显微镜的稳定性，延长电子显微镜的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子显微镜 外罩 空箱 装置 | ||
【主权项】：
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- 带电粒子系统中的流体传送系统-202180015158.4
- M·A·范德凯克霍夫;张景;M·P·C·范赫尤门;P·A·A·M·布鲁斯;王二恒;V·沙玛;M·塞法;傅邵维;S·M·斯科拉里;J·A·H·M·雅各布斯 - ASML荷兰有限公司
- 2021-02-15 - 2022-09-30 - H01J37/18
- 公开了用于将流体传送至带电粒子束系统中的台的装置、系统和方法。在一些实施例中，台可以被配置为固定晶片；腔可以被配置为容纳台；并且管可以被设置在腔中，以在台和腔外部之间传送流体。管可以包括第一材料的第一管状层，其中，第一材料是柔性聚合物；以及第二材料的第二管状层，其中，第二材料被配置为减少流体或气体穿过管的渗透。在一些实施例中，一种系统可以包括位于腔的外部的脱气系统，其中，脱气系统可以被配置为在传送流体进入管之前，从传送流体中去除气体。
- 隔绝空气条件下的样品传输装置-202221158179.X
- 周宏敏 - 中国科学技术大学
- 2022-05-12 - 2022-09-30 - H01J37/18
- 本实用新型提供一种隔绝空气条件下的样品传输装置，涉及扫描电子显微镜技术领域。该装置用于将样品从样品交换仓(5)传输至扫描电子显微镜样品仓(6)，装置包括：盒体(1)，一端开口，内部开设有用于装载样品的空腔；套件(2)，三面套设于盒体(1)外壁，套件(2)固定于盒体(1)的开口端，并与盒体(1)的开口端上表面形成凹槽；插盖(3)，插设于凹槽，以对盒体(1)的开口端进行密封覆盖；连接杆(4)，一端连接插盖(3)，另一端连结样品交换仓(5)。本实用新型可以实现将样品在隔绝空气条件下传输至扫描电子显微镜的样品仓，该装置工艺简单，易于制作且成本低廉。
- 一种隔离阀及透射电子显微镜-202210474533.8
- 邹文兵;唐爱权;魏志猛 - 苏州博众仪器科技有限公司;博众精工科技股份有限公司
- 2022-04-29 - 2022-09-20 - H01J37/18
- 本发明属于真空阀门技术领域，公开了一种隔离阀及透射电子显微镜，隔离阀用于封堵设置在透射电子显微镜的通道内的隔离口，通道内设置有外部死档，隔离阀包括阀板、动力系统、滑杆和第一弹性件，阀板位于通道内并设置有真空密封圈，动力系统的输出方向与隔离口的中心线垂直，滑杆与阀板之间设置有切换组件，切换组件能够使得阀板锁止在开启或闭合隔离口处。动力系统的输出动力方向与隔离口的轴向垂直，动力系统输出动力时阀板将隔离口开启或闭合，使得该隔离阀能够应用于狭窄的通道内，动力系统的不会占用隔离口轴向过多的空间，便于在透射电镜系统的通道内中对于不同的真空区域进行单独的隔离，便于对透射电镜系统的局部区域进行维修或维护。
- 一种看像用电镜真空系统及控制方法-202210646644.2
- 卢静;冯筱佳;谌夏;曾宪蓉;翟豪;余志林;田野;王欢;董双;秦金花;官薛青;支真春 - 重庆电子工程职业学院;浙江光特科技有限公司
- 2022-06-08 - 2022-08-23 - H01J37/18
- 本申请实施例提供的一种看像用电镜真空系统及控制方法，属于半导体领域。该看像用电镜真空系统包括电子枪、第一镜筒、第二镜筒、样品室、分子泵、第一机械泵、第二机械泵、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第二真空测量规管、第六阀门、真空管道。本申请通过形成一套真空系统，从而使得在使用电镜观察样品时，为观察样品提供真空环境，另外再也无需测试人员将电镜移动到真空环境，有效降低了测试人员的工作量，便于测试人员进行测试。
- 专利分类
