[发明专利]带电粒子束检测器、电子显微镜、电子束能量损失分光装置以及摄像装置

说明书

带电粒子束检测器具备：将包含荧光体粒子的荧光层和金属层层叠的层叠体，其特征在于，具备设于所述金属层与所述荧光层之间的树脂层。

技术领域

本公开涉及具备检测带电粒子的闪烁器的带电粒子束检测器以及利用该带电粒子束检测器的带电粒子束装置。

背景技术

在对透射电子显微镜像进行摄像的情况下，将透射样品的电子束的透射像用物镜和成像透镜放大后投影到闪烁器上。然后，通过闪烁器将透射电子束的像变换成光像，使用高精细CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件)摄像机对光像进行拍摄。为了以充分的明亮度对高精细的高倍率像进行摄像，需要将由闪烁器生成的光像没有渗透且高效率地投影到CCD摄像机的受光面。

另外，在透射型电子显微镜、扫描电子显微镜等搭载了电子束能量损失分光装置(以下称作EELS装置)的电子显微镜中，将在透射样品后由分光器进行了能量分光的光谱像或能量过滤像投影到EELS装置所具备的闪烁器上。然后，通过闪烁器将光谱像或能量过滤像变换成光像，并由高精细CCD摄像机对该光像进行拍摄。

在EELS装置中，为了将通过低加速电压的电子束得到的光谱像或能量过滤像作为高精细的高倍率像以充分的明亮度进行摄像，也需要将在闪烁器中变换后的光像没有渗透且高效率地投影到CCD摄像机的受光面。

在专利文献1中，公开了如下手法：在近场光学观察装置所具备的入射窗(有具有能通过电子束激发而发光的发光材料的发光层)中，即使减薄膜厚，也为了保持强度而使用火棉胶。另外，在专利文献2中公开了如下图像显示装置的制造工序：在荧光膜与铝膜之间设置火棉胶膜，之后，进行灼烧来将上述火棉胶膜烧掉。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2015-31515号公报

专利文献2：JP特开2006-202528号公报

发明内容

发明要解决的课题

近年来，伴随CCD摄像机的像素的高精细化，谋求能将透射电子束像高分辨且高效率地变换成光像的闪烁器。另外，电子显微镜需要能对应于要观察的样品而在宽幅的加速电压范围内使用。特别地，为了以高对比度对生物体样品、轻元素材料等的透射电子显微镜像进行摄像，谋求发光强度在低加速电压下也高的闪烁器。

另外，在透射型电子显微镜或扫描电子显微镜中搭载了EELS装置的电子显微镜中，对进行了能量分光的光谱像或能量过滤像进行拍摄的闪烁器需要与低加速电压对应。为此，需要即使在低加速电压的情况下闪烁器的发光强度也变大的结构。因此，当务之急是开发能在从低加速电压到高加速电压的宽幅的加速范围内使用且具有充分的发光强度的闪烁器。

为了提高由闪烁器生成的光像的分辨率，例如需要用将荧光层射出的光进行镜面反射的平坦性高的金属层来覆盖荧光层。专利文献1记载的闪烁器检测器虽然记载了为了使荧光膜坚固而使用火棉胶作为粘接剂，但并未公开将荧光膜的凹凸整平。另外，在专利文献2中，虽然记载了在荧光膜与铝膜之间设置火棉胶膜，但却记载了之后进行灼烧来将火棉胶膜烧掉，在荧光膜与铝膜的粘接中并未使用火棉胶。

本公开鉴于上述课题而提出，提供能将电子束像高分辨且高效率地变换成光像的技术。

用于解决课题的手段

本公开为了解决上述课题，提供检测带电粒子的带电粒子束检测器，该带电粒子束检测器例如具备将包含荧光体粒子的荧光层和金属层层叠的层叠体，其特征在于，具备设于所述金属层与所述荧光层之间的树脂层。

发明效果

根据本公开，能将电子束像高分辨且高效率地变换成光像。上述以外的课题、结构以及效果通过以下的实施方式的说明而得以明确。

附图说明