[发明专利]单晶金刚石衍射光学元件及其制造方法在审
| 申请号： | 201880065981.4 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN111279023A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | N·夸克;M·基斯;T·格拉齐奥西 | 申请（专利权）人： | 洛桑联邦理工学院 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B33/12;G02B1/02;G02B5/18;G02B27/10 |
| 代理公司： | 青岛联智专利商标事务所有限公司 37101 | 代理人： | 阎娬斌;匡丽娟 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单晶金刚石光学元件生产方法。该方法包括以下步骤：‑提供单晶金刚石基板或层；‑将掩模层涂敷到单晶金刚石基板或层；‑穿过掩模层形成至少一个或多个凹陷或凹口，以露出单晶金刚石基板或层的一个或多个部分；以及‑蚀刻单晶金刚石基板或层的露出的一个或多个部分。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 衍射 光学 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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