[发明专利]氧化铝质烧结体及其制造方法有效
| 申请号： | 201880065428.0 | 申请日： | 2018-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN111201208B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 吉田早侑;宫下幸久 | 申请（专利权）人： | 阔斯泰公司 |
| 主分类号： | C04B35/117 | 分类号： | C04B35/117;C04B35/64;C04B41/87;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京奉思知识产权代理有限公司 11464 | 代理人： | 邹轶鲛;石红艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及氧化铝质烧结体及其制造方法，例如涉及在等离子体处理装置、半导体/液晶显示装置制造用蚀刻机、CVD装置等所使用的部件等中适用的或者在被涂覆的耐等离子体性部件的基材等中适用的氧化铝质烧结体以及上述氧化铝质烧结体的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化铝 烧结 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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