[发明专利]氧化铝质烧结体及其制造方法有效
| 申请号: | 201880065428.0 | 申请日: | 2018-10-02 |
| 公开(公告)号: | CN111201208B | 公开(公告)日: | 2023-05-23 |
| 发明(设计)人: | 吉田早侑;宫下幸久 | 申请(专利权)人: | 阔斯泰公司 |
| 主分类号: | C04B35/117 | 分类号: | C04B35/117;C04B35/64;C04B41/87;H01L21/3065 |
| 代理公司: | 北京奉思知识产权代理有限公司 11464 | 代理人: | 邹轶鲛;石红艳 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 氧化铝 烧结 及其 制造 方法 | ||
1.一种氧化铝质烧结体,其特征在于,
对Al进行Al2O3换算后的含量为99.8wt%以上,
对Si进行SiO2换算后的含量为203ppm以上且600ppm以下,
对Na进行Na2O换算后的含量大于0且为27ppm以下,
其余部分是不可避免的杂质,
并且,所述氧化铝质烧结体密度为3.96g/cm3以上,
所述氧化铝质烧结体中的Al2O3结晶的平均结晶粒径为3μm以上且40μm以下,
所述氧化铝质烧结体的平均气孔直径为5μm以下。
2.根据权利要求1所述的氧化铝质烧结体,其特征在于,
所述氧化铝质烧结体中的对Mg进行MgO换算后的含量比例相对于所述对Si进行SiO2换算后的含量为1.0以上且4.0以下。
3.根据权利要求1所述的氧化铝质烧结体,其特征在于,
所述氧化铝质烧结体中的对Ca进行CaO换算后的含量比例相对于所述对Si进行SiO2换算后的含量为3.0以下。
4.根据权利要求1所述的氧化铝质烧结体,其特征在于,
在所述氧化铝质烧结体的至少一部分形成有耐腐蚀膜或耐腐蚀层。
5.一种氧化铝质烧结体的制造方法,其特征在于,
是根据权利要求1至4中任一项所述的氧化铝质烧结体的制造方法,
在所述制造方法中,对原料粉末进行造粒,并将成形得到的成形体在氢气气氛中以1600℃~1900℃进行烧制。
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