[发明专利]氧化铝质烧结体及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201880065428.0 申请日: 2018-10-02
公开(公告)号: CN111201208B 公开(公告)日: 2023-05-23
发明(设计)人: 吉田早侑;宫下幸久 申请(专利权)人: 阔斯泰公司
主分类号: C04B35/117 分类号: C04B35/117;C04B35/64;C04B41/87;H01L21/3065
代理公司: 北京奉思知识产权代理有限公司 11464 代理人: 邹轶鲛;石红艳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 氧化铝 烧结 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种氧化铝质烧结体,其特征在于,

对Al进行Al2O3换算后的含量为99.8wt%以上,

对Si进行SiO2换算后的含量为203ppm以上且600ppm以下,

对Na进行Na2O换算后的含量大于0且为27ppm以下,

其余部分是不可避免的杂质,

并且,所述氧化铝质烧结体密度为3.96g/cm3以上,

所述氧化铝质烧结体中的Al2O3结晶的平均结晶粒径为3μm以上且40μm以下,

所述氧化铝质烧结体的平均气孔直径为5μm以下。

2.根据权利要求1所述的氧化铝质烧结体,其特征在于,

所述氧化铝质烧结体中的对Mg进行MgO换算后的含量比例相对于所述对Si进行SiO2换算后的含量为1.0以上且4.0以下。

3.根据权利要求1所述的氧化铝质烧结体,其特征在于,

所述氧化铝质烧结体中的对Ca进行CaO换算后的含量比例相对于所述对Si进行SiO2换算后的含量为3.0以下。

4.根据权利要求1所述的氧化铝质烧结体,其特征在于,

在所述氧化铝质烧结体的至少一部分形成有耐腐蚀膜或耐腐蚀层。

5.一种氧化铝质烧结体的制造方法,其特征在于,

是根据权利要求1至4中任一项所述的氧化铝质烧结体的制造方法,

在所述制造方法中,对原料粉末进行造粒,并将成形得到的成形体在氢气气氛中以1600℃~1900℃进行烧制。

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