[发明专利]检查装置和检查方法以及程序在审
| 申请号： | 201880063052.X | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN111164405A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 木村胜治;山中寛之;古川勇治;原田康平;高桥浩典;后藤启幸;龙平一郎;馆林克明 | 申请（专利权）人： | 索尼半导体解决方案公司 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G02B5/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 梁兴龙;曹正建 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种能够检查图像拾取元件的性能的检查装置、检查方法以及程序。产生准直光，并且一部分准直光透过透过滤光器，所述透过滤光器具有设置有规则配置的圆形孔的遮光面，从而转换为规则配置的圆柱状准直光的光线。包括规则配置的圆柱状准直光的光线的图像由被检查的图像拾取元件捕获。然后，获取由被检查的图像拾取元件捕获的图像与由理想图像拾取元件捕获的理想图像之间的差分，并且通过差分和阈值之间的比较，检查被检查的图像拾取元件的性能。本公开可以适用于图像拾取装置的制造。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 以及 程序 | ||
【主权项】：
暂无信息
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