[发明专利]检查装置和检查方法以及程序在审

专利信息
申请号: 201880063052.X 申请日: 2018-09-20
公开(公告)号: CN111164405A 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 木村胜治;山中寛之;古川勇治;原田康平;高桥浩典;后藤启幸;龙平一郎;馆林克明 申请(专利权)人: 索尼半导体解决方案公司
主分类号: G01M11/00 分类号: G01M11/00;G02B5/00;H01L21/66
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 梁兴龙;曹正建
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 检查 装置 方法 以及 程序
【权利要求书】:

1.一种检查装置,包括:

准直光产生单元,其构造成产生准直光;

透过滤光器,其构造成透过一部分的准直光并遮挡与该部分的准直光不同的另一部分的准直光;

图像拾取元件,其构造成捕获包括由所述透过滤光器透过的该部分准直光的图像;和

检查单元,其构造成将由所述图像拾取元件捕获的图像与由理想图像拾取元件捕获的理想图像进行比较,以检查所述图像拾取元件。

2.根据权利要求1所述的检查装置,其中

所述透过滤光器具有包括遮光面的平面并且具有用于允许所述准直光透过的孔部,所述孔部规则地配置在所述遮光面上。

3.根据权利要求2所述的检查装置,其中

在包括所述透过滤光器的遮光面的平面上的多个孔部的形状为圆形、四边形或三角形。

4.根据权利要求2所述的检查装置,其中

在包括所述透过滤光器的遮光面的平面上的孔部的形状为直线状或格子状。

5.根据权利要求1所述的检查装置,其中

所述图像拾取元件包括

芯片尺寸封装(CSP)固态图像拾取元件,其构造成捕获包括与入射光量相对应的像素信号的图像,和

透镜,其构造成将入射光会聚到所述CSP固态图像拾取元件。

6.根据权利要求5所述的检查装置,其中

所述透镜是下部透镜,所述下部透镜是会聚接收到的光的多个透镜的透镜组的一部分、位于所述图像拾取元件的前侧并且配置成比作为所述透镜组的一部分的上部透镜更靠近所述图像拾取元件,并且是所述透镜组的与所述透镜组的前述一部分不同的另一部分。

7.根据权利要求6所述的检查装置,其中

所述下部透镜包括多个透镜。

8.根据权利要求5所述的检查装置,还包括:

光吸收材料,其具有吸收光的功能并且被设置为覆盖所述图像拾取元件的侧面和所述透镜的外周部,其中

所述检查单元将由于通过外周部用所述光吸收材料部分覆盖的透镜的会聚所发生的由所述图像拾取元件上的不敏感区域以外的图像拾取元件捕获的图像与由所述理想图像拾取元件捕获的理想图像进行比较,以检查所述图像拾取元件。

9.根据权利要求1所述的检查装置,其中

所述图像拾取元件包括捕获包括与入射光量相对应的像素信号的图像的芯片尺寸封装(CSP)固态图像拾取元件。

10.根据权利要求1所述的检查装置,还包括:

计算单元,其构造成计算由所述图像拾取元件捕获的图像与由所述理想图像拾取元件捕获的理想图像之间的差分,其中

所述检查单元将所述计算单元计算出的差分与预定阈值进行比较,以检查所述图像拾取元件。

11.根据权利要求10所述的检查装置,其中

所述计算单元计算由所述图像拾取元件捕获的图像与由所述理想图像拾取元件捕获的理想图像的像素之间的像素值的差分绝对值之和。

12.根据权利要求1所述的检查装置,还包括:

连接部,其与所述图像拾取元件连接并且将包括由所述图像拾取元件捕获的像素信号的图像输出到所述检查单元。

13.根据权利要求1所述的检查装置,其中

所述图像拾取元件与图像拾取装置的电路板连接,和

包括由所述图像拾取元件捕获的像素信号的图像通过所述电路板输出到所述检查单元。

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