[发明专利]检查装置和检查方法以及程序

说明书

本公开涉及一种能够检查图像拾取元件的性能的检查装置、检查方法以及程序。产生准直光，并且一部分准直光透过透过滤光器，所述透过滤光器具有设置有规则配置的圆形孔的遮光面，从而转换为规则配置的圆柱状准直光的光线。包括规则配置的圆柱状准直光的光线的图像由被检查的图像拾取元件捕获。然后，获取由被检查的图像拾取元件捕获的图像与由理想图像拾取元件捕获的理想图像之间的差分，并且通过差分和阈值之间的比较，检查被检查的图像拾取元件的性能。本公开可以适用于图像拾取装置的制造。

技术领域

本公开涉及检查装置和检查方法以及程序，特别地涉及能够简单地检查安装在固态图像拾取元件上的透镜的形状或者检查固态图像拾取元件上的玻璃面的检查装置和检查方法以及程序。

背景技术

近年来，对于配备有相机的移动终端设备或数字静态相机中使用的固态图像拾取元件，已经推进了高像素化、小型化和轮廓减小。

作为针对小型化和薄型化的技术，典型地，固态图像拾取元件被改进为芯片尺寸封装(CSP)固态图像拾取元件，并且另外利用两组构成作为透镜构成，最下部透镜配置在CSP固态图像拾取元件上。

然而，已知的是，由于厚度减小的影响，CSP固态图像拾取元件在制造时翘曲或弯曲，或者所形成的最下部透镜的形状变形。配备有其中形成有形状不良透镜的CSP固态图像拾取元件的固态图像拾取装置自然是不良的，从而导致成品率下降。

因此，考虑适用测量透镜的表面形状的技术(专利文献1)。

引用文献列表

专利文献

专利文献1：日本特开第2006-058313号公报

发明内容

发明要解决的问题

因为专利文献1中的技术旨在测量透镜的表面形状，所以可以测量一个透镜的表面形状。然而，对于其上形成有透镜的CSP固态图像拾取元件，包含透镜的CSP固态图像拾取元件本身难以测量。

此外，尽管可获得测量直接接触的透镜的形状的技术，但是在接触时会损坏安装在CSP固态图像拾取元件的玻璃上的透镜的表面。

因此，已知的是，实际上很难通过显微镜观察来进行形状的精确测量，从而导致制造时的成品率下降。

考虑到这种情况而做出了本公开，特别地，本公开的目的是能够简单地检查安装在固态图像拾取元件上的透镜的形状或者检查固态图像拾取元件上的玻璃面。

问题的解决方案

根据本公开的一个方面的检查装置，包括：准直光产生单元，其构造成产生准直光；透过滤光器，其构造成透过一部分的准直光并遮挡与该部分的准直光不同的另一部分的准直光；图像拾取元件，其构造成捕获包括由所述透过滤光器透过的该部分准直光的图像；和检查单元，其构造成将由所述图像拾取元件捕获的图像与由理想图像拾取元件捕获的理想图像进行比较，以检查所述图像拾取元件。

所述透过滤光器可以具有包括遮光面的平面并且具有用于允许所述准直光透过的孔部，所述孔部规则地配置在所述遮光面上。

在包括所述透过滤光器的遮光面的平面上的多个孔部的形状可以为圆形、四边形或三角形。

在包括所述透过滤光器的遮光面的平面上的孔部的形状可以为直线状或格子状。

所述图像拾取元件可以包括：芯片尺寸封装(CSP)固态图像拾取元件，其构造成捕获包括与入射光量相对应的像素信号的图像，和透镜，其构造成将入射光会聚到所述CSP固态图像拾取元件。