[发明专利]研磨用组合物有效
| 申请号： | 201880020117.2 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN110431210B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 伊藤康昭;织田博之;野口直人 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨用组合物，其能有效地提高研磨速率。根据本发明，提供一种用于对研磨对象材料进行研磨的研磨用组合物。该研磨用组合物包含水、氧化剂和研磨促进剂，且不含磨粒。作为研磨促进剂，包含选自由碱金属盐及碱土金属盐组成的组中的至少1种金属盐。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
1.一种研磨用组合物，其用于研磨对象物的研磨，所述研磨用组合物包含水、氧化剂和研磨促进剂，且不含磨粒，作为所述研磨促进剂，包含选自由碱金属盐及碱土金属盐组成的组中的至少1种金属盐。
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