[发明专利]固体拍摄元件以及固体拍摄元件的制造方法

摘要

提供能减弱混色的、高精细且灵敏度良好的固体拍摄元件及其制造方法。本实施方式所涉及的固体拍摄元件在二维配置有多个光电变换元件(11)的半导体基板(10)上，具有与各光电变换元件(11)对应地配置有多种颜色的彩色滤光片(14、15、16)的彩色滤光片图案，形成有使得在半导体基板(10)与彩色滤光片(14、15、16)之间形成的使得可见光透射的层、和在相邻的彩色滤光片(14、15、16)之间形成的使得可见光透射的层相连续的间隔壁层(12)，多种颜色的彩色滤光片(14、15、16)中的面积最大的彩色滤光片(14)的边缘部和间隔壁层(12)中包含的边缘部相连续，在面积最大的彩色滤光片(14)的侧壁形成有对间隔壁层(12)进行蚀刻时的反应生成物层(40)。

主权项

1.一种固体拍摄元件，在二维配置有多个光电变换元件的半导体基板上具有与各光电变换元件对应地配置有多种颜色的彩色滤光片的彩色滤光片图案，其特征在于，在所述半导体基板与所述彩色滤光片图案之间形成的使得第一可见光透射的层、和在相邻的所述彩色滤光片之间形成的使得第二可见光透射的层相连续，所述使得第一可见光透射的层和所述使得第二可见光透射的层由相同的材料构成，所述多种颜色的彩色滤光片中的面积最大的彩色滤光片的边缘和所述使得第二可见光透射的层的边缘部相连续，在所述面积最大的彩色滤光片的侧壁形成有含有构成所述使得第一可见光透射的层的成分的反应生成物层。