[发明专利]固体拍摄元件以及固体拍摄元件的制造方法

说明书

提供能减弱混色的、高精细且灵敏度良好的固体拍摄元件及其制造方法。本实施方式所涉及的固体拍摄元件在二维配置有多个光电变换元件(11)的半导体基板(10)上，具有与各光电变换元件(11)对应地配置有多种颜色的彩色滤光片(14、15、16)的彩色滤光片图案，形成有使得在半导体基板(10)与彩色滤光片(14、15、16)之间形成的使得可见光透射的层、和在相邻的彩色滤光片(14、15、16)之间形成的使得可见光透射的层相连续的间隔壁层(12)，多种颜色的彩色滤光片(14、15、16)中的面积最大的彩色滤光片(14)的边缘部和间隔壁层(12)中包含的边缘部相连续，在面积最大的彩色滤光片(14)的侧壁形成有对间隔壁层(12)进行蚀刻时的反应生成物层(40)。

技术领域

本发明涉及固体拍摄元件以及固体拍摄元件的制造方法。

背景技术

作为与固体拍摄元件及其制造方法相关的技术，例如存在专利文献1或2所记载的技术。

专利文献1：日本特开平11-68076号公报

专利文献2：日本特许第4905760号公报

发明内容

发明人对专利文献2所记载的制造方法进行了研究，获得了如下见解，即，在通过干蚀刻而形成各彩色滤光片图案时，形成彩色滤光片的材料(彩色滤光片材料)是含有有机物和金属的材料，因此难以通过干蚀刻进行形状加工且容易残留残渣，另外，在无残渣且以良好的形状进行干蚀刻的情况下，容易对光电变换元件造成蚀刻损伤。

本发明就是鉴于上述问题(见解)而提出的，其目的在于提供减弱了混色的、高精细且灵敏度良好的固体拍摄元件及其制造方法。

为了解决问题，作为本发明的一个方式的固体拍摄元件在二维配置有多个光电变换元件的半导体基板上具有与各光电变换元件对应地配置有多种颜色的彩色滤光片的彩色滤光片图案，其特征在于，在所述半导体基板与所述彩色滤光片图案之间形成的使得第一可见光透射的层、和在相邻的所述彩色滤光片之间形成的使得第二可见光透射的层相连续，所述使得第一可见光透射的层和所述使得第二可见光透射的层由相同的材料构成，所述多种颜色的彩色滤光片中的面积最大的彩色滤光片的边缘和所述使得第二可见光透射的层的边缘部相连续，在所述面积最大的彩色滤光片的侧壁形成有含有构成所述使得第一可见光透射的层的成分的反应生成物层。

另外，作为本发明的一个方式的固体拍摄元件的制造方法是如下固体拍摄元件的制造方法，该固体拍摄元件在二维配置有多个光电变换元件的半导体基板上具有与各光电变换元件对应地配置有多种颜色的彩色滤光片的彩色滤光片图案，在所述各彩色滤光片之间以及所述各彩色滤光片的下层形成有使得可见光透射的层，其特征在于，具有如下工序：在二维配置有所述多个光电变换元件的半导体基板上的整个面形成使得可见光透射的层；在所述使得可见光透射的层，通过干蚀刻使得所述多个彩色滤光片图案中的第一种颜色的彩色滤光片图案的形成部位开口而实现图案化；在所述图案化的工序之后，将第一种颜色的彩色滤光片材料涂敷于开口的部位并使其固化，由此形成由第一彩色滤光片构成的第一彩色滤光片图案；对于其他彩色滤光片图案的形成部位，通过干蚀刻而使得可见光透射的层以及其上方的所述第一种颜色的彩色滤光片开口；以及通过光刻而使得所述其他彩色滤光片实现图案化。

发明的效果

根据本发明的一个方式，能够提供减弱了混色的、高精细且灵敏度良好的固体拍摄元件及其制造方法。

例如，根据本发明的一个方式，对于容易通过干蚀刻而对形状进行加工的使得可见光透射的层，通过干蚀刻进行加工，仅对形成第一种颜色的彩色滤光片的材料进行涂敷并使其固化而形成第一种颜色的彩色滤光片，因此第一种颜色的彩色滤光片的薄膜化变得容易，并且能够以良好的矩形性而形成第一种颜色的彩色滤光片。因此，通过缩短微透镜顶部至装置的总距离而能够减弱混色，能够获得高灵敏度化的高精细的固体拍摄元件。

附图说明