[发明专利]利用面蒸发源的高分辨率AMOLED元件的量产设备

摘要

本发明涉及一种利用面蒸发源的高分辨率AMOLED薄膜的量产设备，其特征在于：包括基板装载腔(40)、双重面源蒸镀腔(42)、面源倒置腔(43)、双重面蒸发源蒸镀腔(44)、面源冷却腔(45)、基板保存腔(46)、遮罩保存腔(47)及基板卸载腔(41)，还包括具备与上述各腔连接的机器人腔(30)的八角模块(110)，连续在基板上蒸镀细微图案薄膜。通过使用本发明的利用面蒸发源的高分辨率AMOLED元件的量产设备，具有在基板上蒸镀细微图案时，防止因有机物气体的扩散现象导致的细微图案蒸镀的困难，通过基板和遮罩之间的细微空间大幅减少阴影现象，可连续进行蒸镀工艺，不产生闲置时间，从而可提高有机物使用效率，可持续维持高真空的环境，由此通过减少制造工艺时间及制造成本提高生产性的效果。

主权项

1.一种利用面蒸发源的高分辨率AMOLED元件的量产设备，其特征在于，包括：基板装载腔40、面源蒸镀腔42、面源倒置腔43、面蒸发源蒸镀腔44、面源冷却腔45、基板保存腔46、遮罩保存腔47及基板卸载腔41，还包括具备与上述各腔连接的机器人腔30的八角模块110，连续在基板上蒸镀细微图案薄膜。