[发明专利]利用面蒸发源的高分辨率AMOLED元件的量产设备

说明书

本发明涉及一种利用面蒸发源的高分辨率AMOLED薄膜的量产设备，其特征在于：包括基板装载腔(40)、双重面源蒸镀腔(42)、面源倒置腔(43)、双重面蒸发源蒸镀腔(44)、面源冷却腔(45)、基板保存腔(46)、遮罩保存腔(47)及基板卸载腔(41)，还包括具备与上述各腔连接的机器人腔(30)的八角模块(110)，连续在基板上蒸镀细微图案薄膜。通过使用本发明的利用面蒸发源的高分辨率AMOLED元件的量产设备，具有在基板上蒸镀细微图案时，防止因有机物气体的扩散现象导致的细微图案蒸镀的困难，通过基板和遮罩之间的细微空间大幅减少阴影现象，可连续进行蒸镀工艺，不产生闲置时间，从而可提高有机物使用效率，可持续维持高真空的环境，由此通过减少制造工艺时间及制造成本提高生产性的效果。

技术领域

本发明涉及AMOLED元件的量产设备，尤其涉及在连接有执行各自的功能的多个腔的多边形模块中，利用机器人执行工艺，上述模块成排连接，从而可连续进行高分辨率柔性AMOLED薄膜的大量生产的装配有面蒸发源蒸镀机的高分辨率AMOLED元件的量产设备。

背景技术

AMOLED(Active Matrix Organic Lighting Emitted Diode)元件是作为替代现有的LCD元件的下一代显示元件备受关注的元件，是在施加电力时在有机物中产生发光现象的自发光元件，反应速度非常快，可实现细微图案。另外，AMOLED元件因无需滤色片和Back light unit的单纯的结构，生产工艺也简单，可实现超薄膜型结构，适合于生产超薄膜型显示器。因为这些特性，AMOLED元件当前不仅用于智能手机和大型TV，而且还因可折叠及可卷曲显示器中的利用率高，韩国、中国、日本等国家争相尝试开发研究及生产。

一般而言，AMOLED显示器是在玻璃基板或PI基板上设置TFT元件之后，高真空蒸镀多层有机物质，蒸镀阴极电极层之后，执行封装工艺。在此，可称之为最核心部分的有机薄膜，主要是在高真空腔中，通过热辐射蒸发有机物粉末，而蒸发的有机物分子贯通微细荫罩或细微金属罩的孔，在基板上蒸镀为细微图案薄膜而成的。

为在上述高真空中进行热蒸发蒸镀，需在高真空腔内具备有机物粉末的蒸发源和基板设置装置及非常精密地对齐微细荫罩和TFT基板的对齐装置等。

另外，需开发出在大面积的基板上可蒸镀均匀的有机薄膜，可进行精密的温度控制以防止对温度非常敏感的有机分子破损的高真空热蒸镀机技术。不仅如此，因连接使用数十个高真空腔，生产用蒸镀机需要用于维持高真空的部件和腔的设计技术及制造技术，需要防泄漏(Leak)技术及自动化技术。

另外，为了提高OLED产品的分辨率，需要更细微地制造有机薄膜的图案和颜色的技术，而利用线型蒸发源的目前的蒸镀设备技术，因分辨率太低而无法生产出高分辨率的AMOLED元件。

图1说明生产具有600ppi级别的分辨率的AMOLED元件的现有技术的AMOLED薄膜生产蒸镀技术的一例。

如图1所示，在高真空腔(未图示)的上部设置基板10，在紧接着基板的下部对齐附着有遮罩12，而设置于其下部以一定间隔相隔的位置的线型蒸发源14，在沿前后方向扫描的同时向上蒸发有机物，从而使以一定扩展角度喷出蒸发的有机物气体分子束13在基板上形成细微图案11。此时，因从线型蒸发源喷出的有机物分子的扩展角度产生阴影现象，从而形成阴影距离SD大(例如，3～8μm)的图案，在形成极细微图案方面存在局限性。

另外，现有技术的AMOLED薄膜生产蒸镀机，因基板的大型化导致的基板的下沉现象或遮罩的下沉现象无法完成精密对齐，从而在制作超高分辨率的元件方面存在局限性，结果降低生产性。

另外，在量产设备中，现有技术的生产设备因在一个基板上蒸镀有机图案之后，在遮罩对齐于其他基板的期间，发生蒸发源继续蒸发有机物气体的闲置(Idling)时间，从而存在降低有机物的使用效率，因闲置时间整体制造工艺时间变长，最终降低生产效率的问题。

(现有技术文献)