[实用新型]一种氮化镓与金刚石膜的复合散热结构有效
| 申请号： | 201822247410.2 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN209312750U | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 王忠强;丁雄傑;王琦;张国义;李成明 | 申请（专利权）人： | 北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | H01L23/373 | 分类号： | H01L23/373;H01L23/367 |
| 代理公司： | 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 | 代理人： | 邓燕 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市松*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种氮化镓与金刚石膜的复合散热结构，包括氮化镓晶片和金刚石膜，氮化镓晶片凹设有若干个盲孔，金刚石膜沉积生长在氮化镓晶片和盲孔表面，本实用新型在氮化镓晶片设置盲孔并在具有盲孔的一面沉积生长有金刚石膜，一方面由于金刚石膜的热导率高于氮化镓晶体，可以提高器件总的导热率，加快散热，另一方面由于氮化镓晶体与金刚石膜的膨胀系数不一致，氮化镓晶体表面的凹凸结构可以增加氮化镓晶体与金刚石膜的之间附着力，减少在器件温度变化时产生的热应力和形变，性能更为稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石膜 氮化镓晶片 盲孔 氮化镓晶体 复合散热结构 本实用新型 氮化镓 附着力 氮化镓晶体表面 金刚石膜沉积 凹凸结构 膨胀系数 不一致 导热率 热导率 热应力 散热 生长 形变 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种氮化镓与金刚石膜的复合散热结构，其特征在于，包括氮化镓晶片和金刚石膜，氮化镓晶片凹设有若干个盲孔，金刚石膜沉积生长在氮化镓晶片和盲孔表面。
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