[实用新型]一种半导体加工车间加工用工作台有效
申请号: | 201822122690.4 | 申请日: | 2018-12-18 |
公开(公告)号: | CN209344039U | 公开(公告)日: | 2019-09-03 |
发明(设计)人: | 郭春辉 | 申请(专利权)人: | 漳州市龙文区杰成电子产品制造有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/677;H01L21/68 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 363000 福建省漳*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体加工车间加工用工作台,包括凹型底座,所述凹型底座的内腔设置有升降装置,所述升降装置包括滑槽、步进电机、螺纹柱、轴承座、螺纹帽、横板、滑块、升降柱和基座,所述凹型底座内腔两侧的顶部均开设有滑槽,所述凹型底座顶部的中心处固定连接有步进电机,所述凹型底座的顶部固定连接有工作台,所述工作台顶部的中心处放置有半导体材料板,所述半导体材料板的两侧均设置有夹持装置。本实用新型通过滑槽、步进电机、螺纹柱、轴承座、螺纹帽、横板、滑块、升降柱和基座的配合,可对工作台的高度进行调节,解决了传统工作台不具备升降调节功能的问题,便于工人以最佳的姿势状态进行工作。 | ||
搜索关键词: | 凹型底座 工作台 步进电机 滑槽 半导体材料板 半导体加工 车间加工 升降装置 螺纹帽 螺纹柱 升降柱 中心处 轴承座 横板 滑块 本实用新型 夹持装置 内腔两侧 升降调节 姿势状态 内腔 配合 | ||
【主权项】:
1.一种半导体加工车间加工用工作台,包括凹型底座(1),其特征在于:所述凹型底座(1)的内腔设置有升降装置(2),所述凹型底座(1)的顶部固定连接有工作台(3),所述工作台(3)顶部的中心处放置有半导体材料板(4),所述半导体材料板(4)的两侧均设置有夹持装置(5)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造