[实用新型]一种半导体元件编带机用除屑机构有效
申请号: | 201822058710.6 | 申请日: | 2018-12-07 |
公开(公告)号: | CN209389005U | 公开(公告)日: | 2019-09-13 |
发明(设计)人: | 彭勇 | 申请(专利权)人: | 合肥市华达半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区望江西路86*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及半导体元件加工设备技术领域,具体涉及一种半导体元件编带机用除屑机构,包括底板、侧板、支架、浮动轴、U形浮动块、横轴、滚动轴承、弹簧、限位环、静电刷。本实用新型设置滚动轴承、U形浮动块、浮动轴,使编带作业后的半导体元件底部外壁在滚动轴承的支承下进行传动,防止产生较大幅度晃动,造成编带作业后的半导体元件产生断裂,再设置静电刷对半导体元件的表面进行除屑,防止细屑、灰尘粘附在半导体元件表面,造成半导体元件表面质量下降,影响产品质量,另外由于是静电刷,防止在除屑时产生静电对半导体元件产生破坏。 | ||
搜索关键词: | 半导体元件 滚动轴承 静电刷 半导体元件表面 本实用新型 除屑机构 编带机 浮动轴 编带 除屑 浮动 底板 底部外壁 灰尘粘附 加工设备 影响产品 质量下降 静电 限位环 侧板 传动 弹簧 横轴 细屑 支承 支架 晃动 断裂 | ||
【主权项】:
1.一种半导体元件编带机用除屑机构,其特征在于,其包括:底板(1);侧板(2),所述侧板(2)设有两个,对置设于所述底板(1)两端;支架(3),所述支架(3)设置在两个侧板(2)之间;浮动轴(4),所述浮动轴(4)竖直穿出支架(3)底部外壁且能自由滑动,其与所述支架(3)内壁为键连接;U形浮动块(5),所述U形浮动块(5)设置在浮动轴(4)上;横轴(6),所述横轴(6)水平连接在U形浮动块(5)缺陷部位内;滚动轴承(7),所述滚动轴承(7)套设在横轴(6)上且位于U形浮动块(5)缺陷部位内;弹簧(8),所述弹簧(8)套设在浮动轴(4)上,其一端固接在所述支架(3)上,其另一端固接在所述U形浮动块(5)上;限位环(9),所述限位环(9)套接在浮动轴(4)穿出支架(3)一端上;静电刷(10),所述静电刷(10)设置在支架(3)内且位于滚动轴承(7)上方。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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