[实用新型]一种半导体元件编带机用除屑机构有效
申请号: | 201822058710.6 | 申请日: | 2018-12-07 |
公开(公告)号: | CN209389005U | 公开(公告)日: | 2019-09-13 |
发明(设计)人: | 彭勇 | 申请(专利权)人: | 合肥市华达半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区望江西路86*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体元件 滚动轴承 静电刷 半导体元件表面 本实用新型 除屑机构 编带机 浮动轴 编带 除屑 浮动 底板 底部外壁 灰尘粘附 加工设备 影响产品 质量下降 静电 限位环 侧板 传动 弹簧 横轴 细屑 支承 支架 晃动 断裂 | ||
本实用新型涉及半导体元件加工设备技术领域,具体涉及一种半导体元件编带机用除屑机构,包括底板、侧板、支架、浮动轴、U形浮动块、横轴、滚动轴承、弹簧、限位环、静电刷。本实用新型设置滚动轴承、U形浮动块、浮动轴,使编带作业后的半导体元件底部外壁在滚动轴承的支承下进行传动,防止产生较大幅度晃动,造成编带作业后的半导体元件产生断裂,再设置静电刷对半导体元件的表面进行除屑,防止细屑、灰尘粘附在半导体元件表面,造成半导体元件表面质量下降,影响产品质量,另外由于是静电刷,防止在除屑时产生静电对半导体元件产生破坏。
技术领域
本实用新型涉及半导体元件加工设备技术领域,具体涉及一种半导体元件编带机用除屑机构。
背景技术
现有的半导体元件编带机收料时,通过卷带轮将编带作业好的半导体元件的载带进行卷收,由于半导体元件表面在编带作业时,不可避免会粘附细屑或灰尘,导致卷收后,半导体元件的表面质量会降低。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的问题,提供一种半导体元件编带机用除屑机构,它可以实现对编带作业后的半导体元件表面进行除屑、提高半导体元件的表面质量。
为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本实用新型是通过以下技术方案实现的:
一种半导体元件编带机用除屑机构,其包括:
底板;
侧板,所述侧板设有两个,对置设于所述底板两端;
支架,所述支架设置在两个侧板之间;
浮动轴,所述浮动轴竖直穿出支架底部外壁且能自由滑动,其与所述支架内壁为键连接;
U形浮动块,所述U形浮动块设置在浮动轴上;
横轴,所述横轴水平连接在U形浮动块缺陷部位内;
滚动轴承,所述滚动轴承套设在横轴上且位于U形浮动块缺陷部位内;
弹簧,所述弹簧套设在浮动轴上,其一端固接在所述支架上,其另一端固接在所述U形浮动块上;
限位环,所述限位环套接在浮动轴穿出支架一端上;
静电刷,所述静电刷设置在支架内且位于滚动轴承上方。
进一步地,还包括用于驱动所述支架转动的驱动件。
进一步地,所述驱动件包括:
支撑轴,所述支撑轴水平转动连接在两个侧板上,且与所述支架固接;
从动齿轮,所述从动齿轮固接在支撑轴上;
连接轴,所述连接轴设置在侧板上;
主动齿轮,所述主动齿轮固接在连接轴上且与从动齿轮啮合;
蜗轮,所述蜗轮固接在连接轴上;
固定块,所述固定块设置在侧板上;
蜗杆,所述蜗杆水平转动连接在固定块上,且与所述蜗轮啮合。
进一步地,还包括将所述静电刷锁紧在支架上的锁紧机构。
进一步地,所述锁紧机构包括:
安装套,所述安装套竖直穿出支架,其内同轴设有锥孔;
锥柄,所述锥柄底部固接在静电刷上,且其插合在所述锥孔内;
螺纹柱,所述螺纹柱竖直连接在锥柄上,且其上端穿出所述安装套;
转动套,所述转动套转动连接在安装套上,且其套装在螺纹柱穿出安装套一端上,其与所述螺纹柱螺纹连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造