[实用新型]一种行星转装置蒸发入射角小于12度的镀锅有效
| 申请号： | 201821944415.4 | 申请日： | 2018-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN209522911U | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 杜宝胜 | 申请（专利权）人： | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 宋翡翠 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种行星转装置蒸发入射角小于12度的镀锅，其结构包括马达、摇臂、行星圆盘、手臂、滚轮、镀锅、基板、钢圈和盖板，马达底部输出端与摇臂进行垂直插接，摇臂底部与行星圆盘进行垂直焊接，行星圆盘左右两侧与手臂进行焊接，手臂外部底侧与滚轮进行转动连接，行星圆盘内部底侧设置有镀锅，本实用新型的一种行星转装置蒸发入射角小于12度的镀锅，承载需要镀膜的基板，基板安装在镀锅上后，通过顶部马达将动力传递到摇臂上，摇臂带动镀锅在真空腔体内匀速旋转；通过控制手臂的折弯角度和滚轮的直径，从而把蒸发入射角度控制在12度以内，保证了产能最大化，又保证了均匀性能控制在3%以内，大大提高了产品的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 镀锅 摇臂 蒸发入射角 行星圆盘 手臂 行星转 滚轮 马达 本实用新型 基板 垂直插接 垂直焊接 动力传递 基板安装 均匀性能 匀速旋转 转动连接 左右两侧 均匀性 输出端 真空腔 最大化 盖板 产能 镀膜 钢圈 折弯 焊接 保证 承载 体内 外部 | ||
【主权项】：
1.一种行星转装置蒸发入射角小于12度的镀锅，其特征在于：包括马达（1）、摇臂（2）、行星圆盘（3）、手臂（4）、滚轮（5）、镀锅（6）、基板（7）、钢圈（8）和盖板（9），所述马达（1）底部输出端与摇臂（2）进行垂直插接，所述摇臂（2）底部与行星圆盘（3）进行垂直焊接，所述行星圆盘（3）左右两侧与手臂（4）进行焊接，所述手臂（4）外部底侧与滚轮（5）进行转动连接，所述行星圆盘（3）内部底侧设置有镀锅（6），所述镀锅（6）外侧底部与基板（7）进行螺纹连接，所述基板（7）内部外侧与钢圈（8）进行水平焊接，所述钢圈（8）顶部与盖板（9）进行螺纹连接。
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- 本实用新型涉及面板加工技术领域，具体为一种新型特种加工装置，包括特种加工装置本体、转动架以及围护架，特种加工装置本体的外壁上焊接有电机，电机的转轴贯穿特种加工装置本体的外壁焊接在转动架的表面上，转动架的表面开设有放置槽，且转动架的表面开设有伸缩槽，伸缩槽的内壁上开设有滑动槽，滑动槽连通放置槽和伸缩槽，滑动槽的内部插接有夹持板，夹持板的表面焊接有限位环，限位环滑动连接在导向槽的内部，导向槽开设在滑动槽的内壁上，且限位环与滑动槽之间粘接有第一拉伸弹簧；有益效果为：本实用新型提出的新型特种加工装置可通过电磁铁将夹具松弛，实现一次操作夹具实现对工件的装卸，减少劳动量，提高生产效率。
- 一种大批量制备表面增强拉曼基底的样品台-201910664729.1
- 张政军;樊易航 - 清华大学
- 2019-07-23 - 2019-10-15 - C23C14/50
- 本发明公开了一种可以同时大批量制备表面增强拉曼基底的样品台，用于大批量制备表面增强拉曼基底，属于痕量有机物检测技术领域。所述样品台包括支撑部分和凸台形圆环，所述凸台形圆环的上方直径大于底部直径，所述凸台的表面呈圆弧形状。本发明的样品台，可以采用倾斜生长法同时在多个基片上沉积银纳米棒。由多基片银纳米棒构成的阵列薄膜，具有较好的产品一致性，可以提高传统制备方法的生产效率。
- 一种真空镀膜衬底底座-201611136440.5
- 冯斌;任高潮;顾为民;金浩;王德苗 - 苏州求是真空电子有限公司
- 2016-12-12 - 2019-10-15 - C23C14/50
- 本发明公开了一种真空镀膜衬底底座，包括衬底托盘、转轴和传动轴，所述传动轴与旋转机构连接，所述衬底托盘通过设置于中心处的转轴与传动轴相连，所述衬底托盘底部设置有以托盘中心为圆心的圆环形凹槽，所述衬底托盘底部还设置有角度调节杆，所述角度调节杆一端固定在设备底座上，另一端为接触球端，所述接触球端可在圆环形凹槽内滑动。本发明可以实现衬底底座的简单的类行星式转动，以使衬底底座在加工过程中能够旋转、翻转，达到改善真空镀膜工艺对非平面结构的台阶覆盖率，尤其是深孔镀膜情况下的改善深孔内壁膜厚均匀性。
- 一种镀膜治具及承载工装-201822093290.5
- 余荣军;蒯泽文;朱亚蒙 - 浙江舜宇光学有限公司
- 2018-12-13 - 2019-10-15 - C23C14/50
- 本实用新型涉及一种镀膜治具及承载工装，包括：用于夹持物料的第一夹持件(11)和第二夹持件(12)，以及用于连接所述第一夹持件(11)和所述第二夹持件(12)的连接件(13)；所述第一夹持件(11)设置有第一通孔(111)和与所述第一通孔(111)相连通的第一缺口(112)，所述第二夹持件(12)设置有第二通孔(121)和与所述第二通孔(121)相连通的第二缺口(122)；所述第一通孔(111)与所述第二通孔(121)相互连通，所述第一缺口(112)与所述第二缺口(122)相互连通。根据本实用新型的一种方案，通过采用第一夹持件和第二夹持件的组合形式，以及通过连接件的夹紧作用，可以实现对物料的快速夹装，有利于提高生产效率，而且夹装精度高。
- 一种用于真空镀膜机的放料架-201822224496.7
- 蒋贵霞;贾建国 - 昆山英利悦电子有限公司
- 2018-12-28 - 2019-10-15 - C23C14/50
- 本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的放料架，包括底座、支撑杆和若干个放料板，所述底座的顶表面上设有滑槽；所述支撑杆垂直于所述底座设置，其底端设有滑块，并通过所述滑块与底座上的滑槽滑动相连，顶端处于自由状态，其外表面上设有拉环；所述放料板垂直于所述支撑杆设置，各放料板均包括底盖、上盖和中间弹片；所述底盖的一端与所述支撑杆固定相连，所述上盖覆盖在所述底盖上，二者上均设有若干个镀膜孔，且二者通过螺钉相连；所述中间弹片的横截面呈波浪型，其活动安装在所述上盖和底盖之间，且与上盖和底盖上相互靠近的一侧之间为线接触。本实用新型能够大大缩短真空镀膜工序时间，提高生产效率。
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