[实用新型]一种硅片电注入退火装置

摘要

本实用新型涉及一种硅片电注入退火装置，其包括左右两侧设置有能够开合供载有硅片的花篮出入的仓门的反应仓，用于支撑和传送载有硅片的花篮出入所述反应仓的输送机构，上电极机构，下电极机构，分别连接所述上电极机构和下电极机构的直流电源，以及给反应仓内降温的风冷机构。本实用新型下电极机构能够将硅片托起，上电极机构在向下推动的时候由于是活动悬吊在上电极横梁板上的，因此当其压在硅片上的时候，上电极横梁板的向下运动就不会继续影响到上电极组件，因此上电极机构和下电极机构能够对硅片实施合理的夹持，不会对硅片造成破坏。

主权项

1.一种硅片电注入退火装置，其特征在于，其包括：反应仓（1），其左右两侧设置有能够开合供载有硅片的花篮出入的仓门（15）；输送机构，用于支撑和传送载有硅片的花篮出入所述反应仓（1）；上电极机构，其包括固定设置的上电极气缸（17）、与上电极气缸（17）的气缸杆固定的上电极横梁板（18）、悬挂设置在所述上电极横梁板（18）两端的两个上电极拉杆（22）以及固定设置在两所述上电极拉杆（22）下端的上电极组件（23），所述上电极组件（23）位于所述反应仓（1）内，所述上电极拉杆（22）通过反应仓（1）顶部的孔与上电极组件（23）连接，所述上电极拉杆（22）上端穿设在所述上电极横梁板（18）上，上电极拉杆（22）上端通过螺母活动吊挂在上电极横梁板（18）上；下电极机构，其包括固定设置的下电极气缸（24）以及与所述下电极气缸（24）的气缸杆固定连接的下电极组件（25），所述下电极组件（25）位于所述上电极组件（23）的正下方，下电极机构能够将花篮中的硅片顶起，使硅片被夹持在下电极机构和上电极机构之间进行电注入；直流电源（3），其分别连接所述上电极组件（23）和下电极组件（25）；风冷机构，其包括设置在所述反应仓（1）前后两侧的壁板上的吹风阀（2）及设置在所述反应仓（1）顶部的排风管（19）。