[实用新型]一种硅片电注入退火装置

权利要求书

1.一种硅片电注入退火装置，其特征在于，其包括：

反应仓（1），其左右两侧设置有能够开合供载有硅片的花篮出入的仓门（15）；

输送机构，用于支撑和传送载有硅片的花篮出入所述反应仓（1）；

上电极机构，其包括固定设置的上电极气缸（17）、与上电极气缸（17）的气缸杆固定的上电极横梁板（18）、悬挂设置在所述上电极横梁板（18）两端的两个上电极拉杆（22）以及固定设置在两所述上电极拉杆（22）下端的上电极组件（23），所述上电极组件（23）位于所述反应仓（1）内，所述上电极拉杆（22）通过反应仓（1）顶部的孔与上电极组件（23）连接，所述上电极拉杆（22）上端穿设在所述上电极横梁板（18）上，上电极拉杆（22）上端通过螺母活动吊挂在上电极横梁板（18）上；

下电极机构，其包括固定设置的下电极气缸（24）以及与所述下电极气缸（24）的气缸杆固定连接的下电极组件（25），所述下电极组件（25）位于所述上电极组件（23）的正下方，下电极机构能够将花篮中的硅片顶起，使硅片被夹持在下电极机构和上电极机构之间进行电注入；

直流电源（3），其分别连接所述上电极组件（23）和下电极组件（25）；

风冷机构，其包括设置在所述反应仓（1）前后两侧的壁板上的吹风阀（2）及设置在所述反应仓（1）顶部的排风管（19）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片电注入退火装置，其特征在于，所述输送机构包括设置在所述反应仓（1）下部前后两侧的两排输送轴（14）、电机减速机构（4）和传动轴（6），所述输送轴（14）位于反应仓（1）外部的一端设置有第三同步带轮（12），位于反应仓（1）内部的另一端用于支撑和输送载有硅片的花篮；所述电机减速机构（4）的输出轴上设置输出轮（5），所述传动轴（6）中部设置有与所述输出轮（5）相对应的第一同步带轮（7），传动轴（6）两端设置有与两排第三同步带轮（12）相对应的第二同步带轮（10），所述输出轮（5）通过第一同步带（8）与所述第一同步带轮（7）传动连接，所述第二同步带轮（10）通过第二同步带（11）与对应侧的第三同步带轮（12）传动连接。

3.根据权利要求2所述的一种硅片电注入退火装置，其特征在于，所述第三同步带轮（12）之间设置有用于张紧所述第二同步带（11）的涨紧轮（13）。

4.根据权利要求1所述的一种硅片电注入退火装置，其特征在于，所述吹风阀（2）呈矩形，其上设置有两个左右贯通的通道，其侧壁上设置有若干与所述通道相通的通孔，气流通过所述通孔分散均匀的吹入到反应仓（1）内，所述吹风阀（2）上设置有用于连接气源的通气管（2-1）。

5.根据权利要求1所述的一种硅片电注入退火装置，其特征在于，所述排风管（19）上设置有用于调节开度的调节阀门（20）。