[实用新型]带断裂结构体声波谐振器、滤波器和电子设备有效
| 申请号： | 201821875912.3 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN209844929U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰;刘伯华;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/04;H03H9/58 |
| 代理公司： | 11651 北京金诚同达律师事务所 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极，与所述底电极对置，所述顶电极具有主体部以及与主体部连接的连接部；压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间；和钝化层，设置在顶电极上方，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域，所述钝化层邻近所述有效区域的边界、在所述连接部上方设置有至少一个第一断裂结构。本实用新型还涉及一种具有上述谐振器滤波器，一种具有该滤波器的电子设备。由于断裂结构的声阻抗和谐振器有效区域的声阻抗不匹配，从而在边缘处将声波反射回谐振器内，可有效阻止了谐振器内能量的泄露。 | ||
| 搜索关键词： | 底电极 顶电极 有效区域 谐振器 基底 本实用新型 断裂结构 钝化层 声学镜 声阻抗 压电层 主体部 滤波器 谐振器滤波器 声波谐振器 电子设备 声波反射 边缘处 对置 振器 种体 匹配 泄露 邻近 | ||
【主权项】：
1.一种体声波谐振器，包括：/n基底；/n声学镜；/n底电极，设置在基底上方；/n顶电极，与所述底电极对置，所述顶电极具有主体部以及与主体部连接的连接部；/n压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间；和/n钝化层，设置在顶电极上方，/n其特征在于：/n声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域，所述钝化层邻近所述有效区域的边界、在所述连接部上方设置有至少一个第一断裂结构。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司，未经天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821875912.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便于拆卸和安装的高通滤波器
- 下一篇：一种温度补偿型石英晶体振荡器
