[实用新型]一种用于生长掺杂直拉晶体的掺杂罩有效
| 申请号： | 201821874745.0 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN209923481U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 常瑞新 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 12213 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于生长掺杂直拉晶体的掺杂罩，包括掺杂罩本体和液面定位装置，液面定位装置设于掺杂罩本体的下部。本实用新型提供的一种用于生长掺杂直拉晶体的掺杂罩，掺杂罩本体的下部设有液面定位销，通过液面定位销接触硅溶液液面来定准掺杂罩底部与硅液的距离；液面定位销均设有四个，使缆绳固定吊环时，旋转时每个角都可以观察到液面定位销的位置；本申请结构简单、易于加工、熔体内部的杂质分布更均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 液面定位 掺杂 罩本体 本实用新型 晶体的 直拉 固定吊环 杂质分布 缆绳 生长 硅溶液 体内部 硅液 液面 观察 加工 申请 | ||
【主权项】：
1.一种用于生长掺杂直拉晶体的掺杂罩，其特征在于：包括掺杂罩本体和液面定位装置，所述液面定位装置设于所述掺杂罩本体的下部。/n
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