[实用新型]传送不同污染程度硅片的导片机有效
| 申请号： | 201821832634.3 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN209216929U | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 顾丹霞 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 栾美洁 |
| 地址： | 201315 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种传送不同污染程度硅片的导片机，不同污染程度的硅片装在相对应的晶圆盒中，每个晶圆盒具有一个ID信息，所述ID信息包括晶圆盒的污染类型，所述导片机包括控制单元、晶圆盒识别单元、多个硅片传送手臂，其中晶圆盒识别单元和硅片传送手臂均与控制单元电性连接，晶圆盒识别单元通过晶圆盒的ID信息判断晶圆盒的污染程度并传输至控制单元中，每个硅片传送手臂可滑动地安装在一个传送手臂导轨上。本实用新型可以根据传片任务及自动识别的晶圆盒污染类型调用相应污染程度的硅片传送手臂，实现一台机器完成不同污染程度的硅片传送动作，提高了导片机的利用率，避免了误操作，而且每次传片完成后可以对动作的硅片传送手臂进行自清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆盒 硅片传送手臂 导片机 污染 硅片 本实用新型 污染类型 传送 电性连接 硅片传送 可滑动地 自动识别 误操作 自清洁 导轨 调用 手臂 传输 | ||
【主权项】：
1.一种传送不同污染程度硅片的导片机，所述不同污染程度的硅片装在相对应的晶圆盒中，每个晶圆盒具有一个ID信息，所述ID信息包括晶圆盒的污染类型，其特征在于，所述导片机包括控制单元、晶圆盒识别单元、多个硅片传送手臂，所述晶圆盒识别单元和硅片传送手臂均与控制单元电性连接，所述晶圆盒识别单元通过晶圆盒的ID信息判断晶圆盒的污染程度并传输至控制单元中，每个硅片传送手臂可滑动地设于一个传送手臂导轨上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
