[实用新型]一种外保温可旋转的碳化硅单晶生长装置有效
| 申请号： | 201821809101.3 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN209144317U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 宁秀秀;高超;梁晓亮;李霞;宗艳民;李长进;窦文涛 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 赵长林 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种外保温可旋转的碳化硅单晶生长装置，包括：单晶生长装置、设在单晶生长装置外的保温装置、与单晶生长装置相连的保护气装置，其特征在于，所述单晶生长装置固定设置，所述保温装置可围绕单晶生长装置进行旋转。本申请所提供的碳化硅单晶生长装置简单，自动化程度高，整体费用低，经济效益高，该方法制备的碳化硅晶体内部应力小，基本上没有晶格错位现象的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶生长装置 碳化硅单晶 生长装置 保温装置 可旋转的 外保温 保护气装置 碳化硅晶体 固定设置 晶格错位 整体费用 制备 申请 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种外保温可旋转的碳化硅单晶生长装置，包括：单晶生长装置、设在单晶生长装置外的保温装置、与单晶生长装置相连的保护气装置，其特征在于，所述单晶生长装置固定设置，所述保温装置可围绕单晶生长装置进行旋转。
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