[实用新型]一种用于晶圆转换的工治具有效
| 申请号： | 201821718689.1 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN209045494U | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 屈军亮 | 申请（专利权）人： | 合肥新汇成微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶圆转换的工治具，它涉及半导体晶圆转换技术领域。它包括用于水平放置晶舟盒的底板，所述底板为长方体结构，所述底板一端侧中部贯穿开设有门形结构的槽口，所述槽口两侧的所述底板端面上分别对称垂直安装有长方体结构的挡板，所述槽口正面上方悬空设有竖直放置的长方体结构推板，所述推板朝向所述槽口的一面中部竖直粘接有长方体结构的海绵垫条，所述海绵垫条的长度与所述推板的长度相同；所述推板通过设置在所述底板上的推移部件悬挂支撑，所述推移部件可带动所述推板向所述槽口方向横向移动。本实用新型不仅可一次转移25片晶圆，大大提高了工作效率，而且在转移过程中可以有效避免晶圆刮伤、斜插、槽位放置错误。 | ||
| 搜索关键词： | 底板 槽口 推板 长方体结构 晶圆 本实用新型 海绵垫 治具 转换 推移 半导体晶圆 挡板 垂直安装 方向横向 工作效率 竖直放置 悬挂支撑 一次转移 侧中部 晶舟盒 槽位 刮伤 片晶 竖直 斜插 粘接 对称 悬空 贯穿 移动 | ||
【主权项】：
1.一种用于晶圆转换的工治具，其特征在于：包括用于水平放置晶舟盒的底板，所述底板为长方体结构，所述底板一端侧中部贯穿开设有门形结构的槽口，所述槽口两侧的所述底板端面上分别对称垂直安装有长方体结构的挡板，所述槽口正面上方悬空设有竖直放置的长方体结构推板，所述推板朝向所述槽口的一面中部竖直粘接有长方体结构的海绵垫条，所述海绵垫条的长度与所述推板的长度相同；所述推板通过设置在所述底板上的推移部件悬挂支撑，所述推移部件可带动所述推板向所述槽口方向横向移动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
