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- [发明专利]粘接装置以及粘接方法-CN201910962016.3在审
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河东和彦;仲里竜贵
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倍科有限公司
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2019-10-11
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2020-11-24
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H01L21/683
- 本发明提供一种粘接装置,其具有粘接工序所需的时间短且生产效率高的特点。本发明的粘接装置包括:基板保持台11,用于支撑基板Wb;传送装置20,被配置在基板保持台11的上侧,用于将在透明膜200的下端面上临时粘接有粘接构件Ws的临时粘接膜Wf传送至规定位置;摄像装置30,被配置在临时粘接膜Wf的上侧,用于对基板Wb上的粘接构件Ws的预定粘接位置以及粘接构件Ws进行拍摄;补正装置70,根据通过摄像装置30所拍摄的信息,对基板Wb或粘接构件Ws的位置以及姿态进行补正;以及压接装置,用于使临时粘接膜Wf或基板Wb朝上下方向移动从而将粘接构件Ws压接在基板Wb上。
- 装置以及方法
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