[实用新型]一种生产线竖向上料系统及硅片传输系统

摘要

本实用新型涉及一种生产线竖向上料系统及硅片传输系统，属于生产线加工输送领域。生产线竖向上料系统包括花篮、运输线总成、石英舟、机械臂、转接托盘、运输件和升降机构。花篮包括多个内齿，相邻内齿之间形成间隙空间，间隙空间被设置用于放置运输件；多个内齿所在的水平面和运输线总成所在的水平面垂直，多个内齿和运输线总成的运输方向平行。石英舟被设置用于缓存运输件并对运输件进行后续工艺加工，机械臂被设置用于对运输件进行移位。该生产线竖向上料系统采用花篮竖向上料的输送方式，能够提高花篮的存放率，保证花篮内运输件之间的间隙均匀，该系统结构简单设计合理，实用性强。

主权项

1.一种生产线竖向上料系统，其特征在于，包括花篮和运输线总成，所述花篮包括多个内齿，相邻所述内齿之间形成间隙空间，所述间隙空间被设置用于放置运输件；多个所述内齿所在的水平面和所述运输线总成所在的水平面垂直，多个所述内齿和所述运输线总成的运输方向平行。