[实用新型]双面加热装置

摘要

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，特别是涉及一种双面加热装置，包括：若干加热模块，依次安装于真空腔室内，每个加热模块均包括：第一支架，安装于真空腔室的底板；多个第一加热管，平行间隔地安装于第一支架；第二支架，与第一支架相对连接，以形成用于传送基片的通道；以及多个第二加热管，平行间隔地安装于第二支架。通过若干加热模块独立安装于真空腔室，便于后期维修维护工作的进行，提高维修维护的效率。通过第一支架安装于真空腔室的底板，第二支架连接于第一支架，因此自真空腔室内拆装加热模块时能够更加方便快捷。通过多个第一加热管和多个第二加热管，可从基片的正反两面同时升高基片的温度，有效节省加热所需时间，提高生产效率。

主权项

1.一种双面加热装置，其特征在于，包括：若干加热模块(10)，依次安装于真空腔室内，每个所述加热模块(10)均包括：第一支架(100)，安装于所述真空腔室的底板；多个第一加热管(300)，平行间隔地安装于所述第一支架(100)远离所述底板的一侧；第二支架(200)，与所述第一支架(100)相对连接，以形成用于传送基片的通道；以及多个第二加热管(400)，平行间隔地安装于所述第二支架(200)与所述第一支架(100)相对的一侧。