[实用新型]双面加热装置

说明书

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，特别是涉及一种双面加热装置，包括：若干加热模块，依次安装于真空腔室内，每个加热模块均包括：第一支架，安装于真空腔室的底板；多个第一加热管，平行间隔地安装于第一支架；第二支架，与第一支架相对连接，以形成用于传送基片的通道；以及多个第二加热管，平行间隔地安装于第二支架。通过若干加热模块独立安装于真空腔室，便于后期维修维护工作的进行，提高维修维护的效率。通过第一支架安装于真空腔室的底板，第二支架连接于第一支架，因此自真空腔室内拆装加热模块时能够更加方便快捷。通过多个第一加热管和多个第二加热管，可从基片的正反两面同时升高基片的温度，有效节省加热所需时间，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，特别是涉及一种双面加热装置。

背景技术

在薄膜太阳能电池组件中，薄膜层起到光电转换的作用，其性能在很大程度上决定了电池片的光电转换效率，即电池片的关键性能参数。薄膜层一般采用MOCVD(MetalOrganic Chemical Vapor Deposition，金属有机化学气相沉积)的加工方式进行材料生长。MOCVD的机理是一种热化学反应，在较高的温度下(一般在几百到1000摄氏度之间)，真空腔室中通入特定的工艺气体以及金属有机物源，进行化学反应，在基片上生长出特定材料的薄膜层。

当前的常见方案，真空腔室构成一个空间，真空腔室内安装有加热装置，加热装置一般采用红外灯管作为加热源。传统的加热装置设计成一个整体，在更换红外灯管时需将整个加热装置从真空腔室内取出，再进行单个红外灯管的更换，维护工作不便且维护时间长。

实用新型内容

基于此，有必要针对传统的加热装置存在的上述技术问题，提供一种双面加热装置。

一种双面加热装置，包括：

若干加热模块，依次安装于真空腔室内，每个所述加热模块均包括：

第一支架，安装于所述真空腔室的底板；

多个第一加热管，平行间隔地安装于所述第一支架远离所述底板的一侧；

第二支架，与所述第一支架相对连接，以形成用于传送基片的通道；以及

多个第二加热管，平行间隔地安装于所述第二支架与所述第一支架相对的一侧。

在其中一个实施例中，所述双面加热装置还包括第一支撑板，安装于所述第一支架，所述第一支撑板设有第一卡槽，所述第一加热管卡设于所述第一卡槽。

在其中一个实施例中，所述双面加热装置还包括第二支撑板，安装于所述第二支架，所述第一支撑板设有第二卡槽，所述第二加热管卡设于所述第二卡槽。

在其中一个实施例中，所述第二支撑板设有钩部，所述第二卡槽开设于所述钩部，所述第二加热管能够在重力作用下卡紧于所述第二卡槽。

在其中一个实施例中，所述多个第一加热管与所述多个第二加热管一一对应。

在其中一个实施例中，所述双面加热装置还包括两个第三加热管，均安装于所述第一支架，所述两个第三加热管分别位于所述多个第一加热管的两端，所述两个第三加热管的长度延伸方向垂直于所述第一加热管的长度延伸方向，所述第三加热管能够贯穿所述若干加热模块。

在其中一个实施例中，所述双面加热装置还包括第三支撑板，安装于所述第一支架，所述第三支撑板设有第三卡槽，所述第三加热管卡设于所述第三卡槽。

在其中一个实施例中，所述双面加热装置还包括两个第四加热管，均安装于所述第二支架，所述两个第四加热管分别位于所述多个第二加热管的两端，所述两个第四加热管的长度延伸方向垂直于所述第二加热管的长度延伸方向，所述第四加热管能够贯穿所述若干加热模块。