[实用新型]双面加热装置

权利要求书

1.一种双面加热装置，其特征在于，包括：

若干加热模块(10)，依次安装于真空腔室内，每个所述加热模块(10)均包括：

第一支架(100)，安装于所述真空腔室的底板；

多个第一加热管(300)，平行间隔地安装于所述第一支架(100)远离所述底板的一侧；

第二支架(200)，与所述第一支架(100)相对连接，以形成用于传送基片的通道；以及

多个第二加热管(400)，平行间隔地安装于所述第二支架(200)与所述第一支架(100)相对的一侧。

2.根据权利要求1所述的双面加热装置，其特征在于，还包括第一支撑板(110)，安装于所述第一支架(100)，所述第一支撑板(110)设有第一卡槽(111)，所述第一加热管(300)卡设于所述第一卡槽(111)。

3.根据权利要求1所述的双面加热装置，其特征在于，还包括第二支撑板(210)，安装于所述第二支架(200)，所述第二支撑板(210)设有第二卡槽(211)，所述第二加热管(400)卡设于所述第二卡槽(211)。

4.根据权利要求3所述的双面加热装置，其特征在于，所述第二支撑板(210)设有钩部(212)，所述第二卡槽(211)开设于所述钩部(212)，所述第二加热管(400)能够在重力作用下卡紧于所述第二卡槽(211)。

5.根据权利要求1所述的双面加热装置，其特征在于，所述多个第一加热管(300)与所述多个第二加热管(400)一一对应。

6.根据权利要求1-5任一项所述的双面加热装置，其特征在于，还包括两个第三加热管(500)，均安装于所述第一支架(100)，所述两个第三加热管(500) 分别位于所述多个第一加热管(300)的两端，所述两个第三加热管(500)的长度延伸方向垂直于所述第一加热管(300)的长度延伸方向，所述第三加热管(500)能够贯穿所述若干加热模块(10)。

7.根据权利要求6所述的双面加热装置，其特征在于，还包括第三支撑板(120)，安装于所述第一支架(100)，所述第三支撑板(120)设有第三卡槽(121)，所述第三加热管(500)卡设于所述第三卡槽(121)。

8.根据权利要求1-5任一项所述的双面加热装置，其特征在于，还包括两个第四加热管(600)，均安装于所述第二支架(200)，所述两个第四加热管(600)分别位于所述多个第二加热管(400)的两端，所述两个第四加热管(600)的长度延伸方向垂直于所述第二加热管(400)的长度延伸方向，所述第四加热管(600)能够贯穿所述若干加热模块(10)。

9.根据权利要求8所述的双面加热装置，其特征在于，还包括第四支撑板(220)，安装于所述第二支架(200)，所述第四支撑板(220)设有第四卡槽(221)，所述第四加热管(600)卡设于所述第四卡槽(221)。

10.根据权利要求9所述的双面加热装置，其特征在于，还包括挡板(222)，活动连接于所述第四支撑板(220)，用于将所述第四加热管(600)锁定于所述第四卡槽(221)中。