[实用新型]一种光刻机的取料装置有效
| 申请号： | 201821556786.5 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN208964039U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 黄祖仪;张宇;杨维 | 申请（专利权）人： | 深圳市致行科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/82 | 分类号： | B65G47/82 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光刻机的取料装置，一种光刻机的取料装置，包括密封箱，密封箱设有启闭门，密封箱内设有光刻台，还包括固定在密封箱并位于光刻台一侧的气缸和位于光刻台另一侧的收集箱，气缸的活塞杆的端部设有推块，推块的下端面与光刻台表面齐平，收集箱靠近光刻台的一侧开设有供芯片进入的进料口。本实用新型这样设置的有益效果是，使用推块将光刻台上的芯片推到收集集箱内进行放置，当收集箱内的芯片到达预设量的时候，再打开启闭门将收集箱取出，避免每完成一片芯片的制作便打开一次启闭门取出芯片，再将待曝光芯片放到光刻台上，减少了操作过程中取芯片的步骤，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 芯片 取料装置 光刻机 密封箱 收集箱 推块 本实用新型 启闭门 气缸 取出 操作过程 工作效率 曝光芯片 活塞杆 进料口 台表面 下端面 预设量 齐平 启闭 密封 制作 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机的取料装置，包括密封箱(1)，所述密封箱(1)设有启闭门(11)，所述密封箱(1)内设有光刻台(2)，其特征在于：还包括固定在所述密封箱(1)并位于所述光刻台(2)一侧的气缸(3)和位于光刻台(2)另一侧的收集箱(4)，所述气缸(3)的活塞杆的端部设有推块(9)，所述推块(9)的下端面与所述光刻台(2)表面齐平，所述收集箱(4)靠近所述光刻台(2)的一侧开设有供芯片(12)进入的进料口(5)。
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