[实用新型]一种光刻机的取料装置

说明书

本实用新型涉及一种光刻机的取料装置，一种光刻机的取料装置，包括密封箱，密封箱设有启闭门，密封箱内设有光刻台，还包括固定在密封箱并位于光刻台一侧的气缸和位于光刻台另一侧的收集箱，气缸的活塞杆的端部设有推块，推块的下端面与光刻台表面齐平，收集箱靠近光刻台的一侧开设有供芯片进入的进料口。本实用新型这样设置的有益效果是，使用推块将光刻台上的芯片推到收集集箱内进行放置，当收集箱内的芯片到达预设量的时候，再打开启闭门将收集箱取出，避免每完成一片芯片的制作便打开一次启闭门取出芯片，再将待曝光芯片放到光刻台上，减少了操作过程中取芯片的步骤，提高了工作效率。

技术领域

本实用新型涉及光刻机取料的技术领域，尤其是涉及一种光刻机的取料装置。

背景技术

目前制造芯片时使用光刻机对硅片进行光刻工艺加工之后的到的一种产品。

现有的用光刻机在制作芯片时，当进行到曝光阶段时，将待曝光的芯片放置到光刻台上，利用紫外线对其进行曝光，曝光完成之后再从其从光刻台上取出，然后再进行下一个待曝光的芯片进行曝光操作。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：

因为制作过程中用到紫外线对待曝光的芯片进行曝光，而紫外线对人的身体有害，所以设置有密封箱将机体密封起来。当制作芯片时，需要打开密封箱上的启闭门将待曝光的芯片放置到光刻台上，然后关上启闭门，进行光刻，当光刻完成之后，打开启闭门，将芯片取出。当进行批量操作时，每进行一片芯片的制作，就需要打开启闭门将芯片放到光刻台上，制作完成之后，再打开启闭门将芯片取出，然后将下一片待曝光的芯片放到光刻台上。但是，每次操作都要将光刻完成的芯片从光刻台取下，再将待曝光的芯片放到光刻台上，如此操作，增加了操作量，影响工作效率，需要对此进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种光刻机的取料装置，用来实现将芯片收集到预设量时再将其从密封箱内取出，提高工作效率。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种光刻机的取料装置，包括密封箱，所述密封箱设有启闭门，所述密封箱内设有光刻台，还包括固定在所述密封箱并位于所述光刻台一侧的气缸和位于光刻台另一侧的收集箱，所述气缸的活塞杆的端部设有推块，所述推块的下端面与所述光刻台表面齐平，所述收集箱靠近所述光刻台的一侧开设有供芯片进入的进料口。

通过采用上述技术方案，当进行光刻工艺时，将待曝光的芯片放置在光刻台上，关上启闭启闭门将光刻台密闭，开始进行光刻，当光刻完成之后，开启气缸，设在活塞杆上的推块推向芯片，芯片在推块的推动下在光刻台上滑动，直到从进料口掉落到收集箱内，如此反复，当收集箱内的芯片收集到一定量时，打开启闭门，将收集箱取出。这样的设置，可以将芯片收集到预设量的时候再取出，减少了操作过程中每次放置待曝光的芯片的时候还需要将光刻台上的芯片取下的步骤，影响工作效率。

本实用新型进一步设置为：所述密封箱的底部设置有滑轨，所述滑轨朝向启闭门设置，所述收集箱滑动连接于所述滑轨。

通过采用上述技术方案，收集箱滑动滑动连接与机体，当放置收集箱时，将收集箱沿着滑轨轨道向内滑动，便可将收集箱放置到到指定位置上；当需要取出收集箱时，将收集箱沿着滑轨轨道向启闭门的方向拉动即可，方便简单，也可以实现收集箱准确的放置在指定的位置上。

本实用新型进一步设置为：所述密封箱上设有螺钉，所述螺钉抵接在所述收集箱靠近所述启闭门的一侧。

通过采用上述技术方案，当将收集箱放置在收集箱内的指定位置时，拧紧螺钉，便可将收集箱固定在指定位置上，防止在光刻机在工作过程中，收集箱出现滑离原来的位置的现象。

本实用新型进一步设置为：所述收集箱的内侧壁上覆盖有海绵。