[实用新型]一种光刻机的取料装置

权利要求书

1.一种光刻机的取料装置，包括密封箱(1)，所述密封箱(1)设有启闭门(11)，所述密封箱(1)内设有光刻台(2)，其特征在于：还包括固定在所述密封箱(1)并位于所述光刻台(2)一侧的气缸(3)和位于光刻台(2)另一侧的收集箱(4)，所述气缸(3)的活塞杆的端部设有推块(9)，所述推块(9)的下端面与所述光刻台(2)表面齐平，所述收集箱(4)靠近所述光刻台(2)的一侧开设有供芯片(12)进入的进料口(5)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机的取料装置，其特征在于：所述密封箱(1)的底部设置有滑轨(6)，所述滑轨(6)朝向启闭门(11)设置，所述收集箱(4)滑动连接于所述滑轨(6)。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机的取料装置，其特征在于： 所述密封箱(1)上设有螺钉(7)，所述螺钉(7)抵接在所述收集箱(4)靠近所述启闭启闭门(11)的一侧。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机的取料装置，其特征在于：所述收集箱(4)的内侧壁上覆盖有海绵(15)。

5.根据权利要求4所述的一种光刻机的取料装置，其特征在于：所述收集箱(4)靠近启闭门(11)方向的侧面上设有握把(8)。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机的取料装置，其特征在于：所述推块(9)靠近所述光刻台(2)的一端为弧形设置。

7.根据权利要求6所述的一种光刻机的取料装置，其特征在于：所述推块(9)的表面设有防护层(10)。