[实用新型]抽真空装置有效
| 申请号： | 201821480627.1 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN208804011U | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;洪纪伦;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/58 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种抽真空装置，用于对一工艺腔室抽真空，包括：真空泵，真空泵的泵体与工艺腔室连接；以及在泵体外表面分区域贴附设置的传热件和冷却管路，用于调节所述泵体内的温度。本实用新型采用传热件和冷却管路调节泵体内的温度，根据工艺腔室内反应物的不同，使温度处于适当的范围内，使反应物保持为气态从而易于被真空管道排出，避免沉积。具体而言，通过传热件可给泵体内升温，以使泵体内的物质一直为气态，随着真空管道被抽出，有效的抑制了泵体内的物质因温度太低凝结成固态吸附于真空管道内壁上，避免了泵体的出口被堵塞；通过冷却管路可给泵体内降温，避免泵体内温度过高导致真空泵突然停机，工艺腔室真空环境受破坏，影响生产。 | ||
| 搜索关键词： | 体内 工艺腔室 冷却管路 真空管道 传热件 真空泵 泵体 本实用新型 抽真空装置 反应物 固态吸附 温度过高 影响生产 真空环境 抽真空 工艺腔 沉积 内壁 排出 贴附 停机 凝结 抽出 堵塞 室内 出口 | ||
【主权项】：
1.一种抽真空装置，用于对一工艺腔室抽真空，其特征在于，包括：真空泵，所述真空泵的泵体与所述工艺腔室连接；以及在所述泵体外表面分区域贴附设置的传热件和冷却管路，用于调节所述泵体内的温度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德淮半导体有限公司，未经德淮半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821480627.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种结构优化的液压离心风机
- 下一篇：一种双向电动充气泵
