[实用新型]抽真空装置有效
| 申请号： | 201821480627.1 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN208804011U | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;洪纪伦;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/58 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 体内 工艺腔室 冷却管路 真空管道 传热件 真空泵 泵体 本实用新型 抽真空装置 反应物 固态吸附 温度过高 影响生产 真空环境 抽真空 工艺腔 沉积 内壁 排出 贴附 停机 凝结 抽出 堵塞 室内 出口 | ||
1.一种抽真空装置，用于对一工艺腔室抽真空，其特征在于，包括：
真空泵，所述真空泵的泵体与所述工艺腔室连接；以及
在所述泵体外表面分区域贴附设置的传热件和冷却管路，用于调节所述泵体内的温度。
2.如权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述传热件为环形结构，以环覆于所述泵体的外表面。
3.如权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述冷却管路与一水冷系统连接，所述冷却管路包括进水口和出水口，所述抽真空装置还包括设置于所述冷却管路与所述水冷系统之间的一进水管和一出水管，所述进水口与所述进水管连接，所述出水口与所述出水管连接。
4.如权利要求3所述的抽真空装置，其特征在于，在所述出水管上设置有一温度显示器，以显示所述泵体内的温度。
5.如权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述抽真空装置还包括一与所述传热件连接的控制器，以控制所述传热件加热所述泵体。
6.如权利要求5所述的抽真空装置，其特征在于，所述控制器还与所述冷却管路连接，以控制所述冷却管路冷却所述泵体。
7.如权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述泵体内的温度范围为18℃～50℃。
8.如权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述真空泵为涡轮泵，所述抽真空装置还包括与所述泵体连接的一粗抽真空管道。
9.如权利要求8所述的抽真空装置，其特征在于，在所述粗抽真空管道外壁上设置一厚度传感器，用于获得所述粗抽真空管道内壁的沉积物厚度。
10.如权利要求9所述的抽真空装置，其特征在于，所述厚度传感器为超声波传感器。
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