[实用新型]抽真空装置

说明书

本实用新型涉及一种抽真空装置，用于对一工艺腔室抽真空，包括：真空泵，真空泵的泵体与工艺腔室连接；以及在泵体外表面分区域贴附设置的传热件和冷却管路，用于调节所述泵体内的温度。本实用新型采用传热件和冷却管路调节泵体内的温度，根据工艺腔室内反应物的不同，使温度处于适当的范围内，使反应物保持为气态从而易于被真空管道排出，避免沉积。具体而言，通过传热件可给泵体内升温，以使泵体内的物质一直为气态，随着真空管道被抽出，有效的抑制了泵体内的物质因温度太低凝结成固态吸附于真空管道内壁上，避免了泵体的出口被堵塞；通过冷却管路可给泵体内降温，避免泵体内温度过高导致真空泵突然停机，工艺腔室真空环境受破坏，影响生产。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，尤其涉及一种抽真空装置。

背景技术

涡轮泵的原理是靠高速运动的刚体表面传递动量给气体分子，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。常用的涡轮泵包括泵体以及设置于泵体中的叶片等抽气部件，可适用于在粗真空(rough vacuum)的基础上进一步提高真空度，其中，将涡轮泵的泵体通过一粗抽真空管道(roughing line)与用于获得粗真空的真空泵例如干泵连接。

目前涡轮泵在半导体制造中也得到了广泛应用。但是，发明人研究发现，由于某些半导体制程会生成一些不稳定的物质，例如某些含氟工艺中的氟与电离后的钨(W)反应后会产生不稳定的氟化钨，这些不稳定物质在适当的温度下容易沉积与涡轮泵的泵体连接的粗抽真空管道内壁，长时间积累后容易造成管道堵塞，进而导致涡轮泵故障，影响生产。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种抽真空装置，以改善现有技术中真空泵泵体内的反应物质因温度的变化凝结成固态吸附于与真空泵连接的管道内壁上，导致设备故障的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种抽真空装置，用于对一工艺腔室抽真空，包括：

真空泵，所述真空泵的泵体与所述工艺腔室连接；以及

在所述泵体外表面分区域贴附设置的传热件和冷却管路，用于调节所述泵体内的温度。

可选的，在所述抽真空装置中，所述传热件为环形结构，以环覆于所述泵体的外表面。

可选的，在所述抽真空装置中，所述冷却管路与一水冷系统连接，所述冷却管路包括进水口和出水口，所述抽真空装置还包括设置于所述冷却管路与所述水冷系统之间的一进水管和一出水管，所述进水口与所述进水管连接，所述出水口与所述出水管连接。

可选的，在所述抽真空装置中，在所述出水管上设置有一温度显示器，以显示所述泵体内的温度。

可选的，在所述抽真空装置中，所述抽真空装置还包括一与所述传热件连接的控制器，以控制所述传热件加热所述泵体。

可选的，在所述抽真空装置中，所述控制器还与所述冷却管路连接，以控制所述冷却管路冷却所述泵体。

可选的，在所述抽真空装置中，所述泵体内的温度范围为18℃～50℃。

可选的，在所述抽真空装置中，所述真空泵为涡轮泵，所述抽真空装置还包括与所述泵体连接的一粗抽真空管道。

可选的，在所述抽真空装置中，在所述粗抽真空管道外壁上设置一厚度传感器，用于获得所述粗抽真空管道内壁的沉积物厚度。

可选的，在所述抽真空装置中，所述厚度传感器为超声波传感器。