[实用新型]一种高产能低压扩散设备有效

专利信息
申请号: 201821446282.8 申请日: 2018-09-05
公开(公告)号: CN208861941U 公开(公告)日: 2019-05-14
发明(设计)人: 王鹏;林罡;崔慧敏;宋威运 申请(专利权)人: 无锡华源晶电科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江苏省无锡市无锡新吴区*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开一种高产能低压扩散设备,包括低压扩散炉主体、第一导轨、第二导轨、支撑架、横梁、第二红外线接收器、第一红外线接收器、电动伸缩柱、控制装置、取送料机构和红外线发生器,所述低压扩散炉主体的一侧表面设置有延伸入低压扩散炉主体内部的第一工艺管列和第二工艺管列,所述低压扩散炉主体的顶部一侧表面安装有第二红外线接收器和第一红外线接收器,本实用新型通过控制装置来控制电动伸缩柱的伸缩作业,从而使低压扩散炉主体进行往复移动,使得低压扩散炉主体上的两列工艺管列可以共用一个取送料机构,对于企业来说在增加了生产效益的同时,也降低了设备资金的投入,减少了设备占地面积。
搜索关键词: 扩散炉 红外线接收器 工艺管 本实用新型 电动伸缩柱 取送料机构 控制装置 扩散设备 导轨 红外线发生器 高产 表面安装 表面设置 设备资金 主体内部 支撑架 横梁 伸缩 延伸 生产
【主权项】:
1.一种高产能低压扩散设备,包括低压扩散炉主体(1)、第一导轨(2)、第二导轨(3)、支撑架(7)、横梁(8)、第二红外线接收器(9)、第一红外线接收器(10)、电动伸缩柱(12)、控制装置(13)、取送料机构(15)和红外线发生器(17),其特征在于:所述低压扩散炉主体(1)的一侧表面设置有延伸入低压扩散炉主体(1)内部的第一工艺管列(4)和第二工艺管列(5),所述低压扩散炉主体(1)的顶部一侧表面安装有第二红外线接收器(9)和第一红外线接收器(10),所述第一导轨(2)和第二导轨(3)对称设置,所述第二导轨(3)的表面上设置有定位滑槽(6),且第一导轨(2)和第二导轨(3)的结构相同,所述低压扩散炉主体(1)的底部表面上安装有与滑槽(6)相配合的移动滚轮(14),所述低压扩散炉主体(1)通过移动滚轮(14)安装在第一导轨(2)和第二导轨(3)上,所述第一导轨(2)和第二导轨(3)的同一端表面上焊接有纵向设置的支撑架(7),两个所述支撑架(7)之间通过焊接的方式固定有横梁(8),所述横梁(8)靠近低压扩散炉主体(1)的一侧表面固定有电动伸缩柱(12),所述低压扩散炉主体(1)的一端表面上设置有加固钢板(11),所述电动伸缩柱(12)的伸缩端与加固钢板(11)相连接,所述横梁(8)的另一侧安装有控制装置(13),控制装置(13)的内部设置有信息采集系统、信息处理系统和控制电路,所述低压扩散炉主体(1)的一侧设置有取送料机构(15),所述取送料机构(15)的一侧表面上设置有取送料口(16),所述取送料机构(15)的顶部表面一侧设置有红外线发生器(17)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡华源晶电科技有限公司,未经无锡华源晶电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201821446282.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top