[实用新型]一种高产能低压扩散设备有效
申请号: | 201821446282.8 | 申请日: | 2018-09-05 |
公开(公告)号: | CN208861941U | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 王鹏;林罡;崔慧敏;宋威运 | 申请(专利权)人: | 无锡华源晶电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏省无锡市无锡新吴区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种高产能低压扩散设备,包括低压扩散炉主体、第一导轨、第二导轨、支撑架、横梁、第二红外线接收器、第一红外线接收器、电动伸缩柱、控制装置、取送料机构和红外线发生器,所述低压扩散炉主体的一侧表面设置有延伸入低压扩散炉主体内部的第一工艺管列和第二工艺管列,所述低压扩散炉主体的顶部一侧表面安装有第二红外线接收器和第一红外线接收器,本实用新型通过控制装置来控制电动伸缩柱的伸缩作业,从而使低压扩散炉主体进行往复移动,使得低压扩散炉主体上的两列工艺管列可以共用一个取送料机构,对于企业来说在增加了生产效益的同时,也降低了设备资金的投入,减少了设备占地面积。 | ||
搜索关键词: | 扩散炉 红外线接收器 工艺管 本实用新型 电动伸缩柱 取送料机构 控制装置 扩散设备 导轨 红外线发生器 高产 表面安装 表面设置 设备资金 主体内部 支撑架 横梁 伸缩 延伸 生产 | ||
【主权项】:
1.一种高产能低压扩散设备,包括低压扩散炉主体(1)、第一导轨(2)、第二导轨(3)、支撑架(7)、横梁(8)、第二红外线接收器(9)、第一红外线接收器(10)、电动伸缩柱(12)、控制装置(13)、取送料机构(15)和红外线发生器(17),其特征在于:所述低压扩散炉主体(1)的一侧表面设置有延伸入低压扩散炉主体(1)内部的第一工艺管列(4)和第二工艺管列(5),所述低压扩散炉主体(1)的顶部一侧表面安装有第二红外线接收器(9)和第一红外线接收器(10),所述第一导轨(2)和第二导轨(3)对称设置,所述第二导轨(3)的表面上设置有定位滑槽(6),且第一导轨(2)和第二导轨(3)的结构相同,所述低压扩散炉主体(1)的底部表面上安装有与滑槽(6)相配合的移动滚轮(14),所述低压扩散炉主体(1)通过移动滚轮(14)安装在第一导轨(2)和第二导轨(3)上,所述第一导轨(2)和第二导轨(3)的同一端表面上焊接有纵向设置的支撑架(7),两个所述支撑架(7)之间通过焊接的方式固定有横梁(8),所述横梁(8)靠近低压扩散炉主体(1)的一侧表面固定有电动伸缩柱(12),所述低压扩散炉主体(1)的一端表面上设置有加固钢板(11),所述电动伸缩柱(12)的伸缩端与加固钢板(11)相连接,所述横梁(8)的另一侧安装有控制装置(13),控制装置(13)的内部设置有信息采集系统、信息处理系统和控制电路,所述低压扩散炉主体(1)的一侧设置有取送料机构(15),所述取送料机构(15)的一侧表面上设置有取送料口(16),所述取送料机构(15)的顶部表面一侧设置有红外线发生器(17)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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