[实用新型]一种高产能低压扩散设备

权利要求书

1.一种高产能低压扩散设备，包括低压扩散炉主体（1）、第一导轨（2）、第二导轨（3）、支撑架（7）、横梁（8）、第二红外线接收器（9）、第一红外线接收器（10）、电动伸缩柱（12）、控制装置（13）、取送料机构（15）和红外线发生器（17），其特征在于：所述低压扩散炉主体（1）的一侧表面设置有延伸入低压扩散炉主体（1）内部的第一工艺管列（4）和第二工艺管列（5），所述低压扩散炉主体（1）的顶部一侧表面安装有第二红外线接收器（9）和第一红外线接收器（10），所述第一导轨（2）和第二导轨（3）对称设置，所述第二导轨（3）的表面上设置有定位滑槽（6），且第一导轨（2）和第二导轨（3）的结构相同，所述低压扩散炉主体（1）的底部表面上安装有与滑槽（6）相配合的移动滚轮（14），所述低压扩散炉主体（1）通过移动滚轮（14）安装在第一导轨（2）和第二导轨（3）上，所述第一导轨（2）和第二导轨（3）的同一端表面上焊接有纵向设置的支撑架（7），两个所述支撑架（7）之间通过焊接的方式固定有横梁（8），所述横梁（8）靠近低压扩散炉主体（1）的一侧表面固定有电动伸缩柱（12），所述低压扩散炉主体（1）的一端表面上设置有加固钢板（11），所述电动伸缩柱（12）的伸缩端与加固钢板（11）相连接，所述横梁（8）的另一侧安装有控制装置（13），控制装置（13）的内部设置有信息采集系统、信息处理系统和控制电路，所述低压扩散炉主体（1）的一侧设置有取送料机构（15），所述取送料机构（15）的一侧表面上设置有取送料口（16），所述取送料机构（15）的顶部表面一侧设置有红外线发生器（17）。

2.根据权利要求1所述的一种高产能低压扩散设备，其特征在于：所述第一红外线接收器（10）与第一工艺管列（4）同轴线设置，所述第二红外线接收器（9）与第二工艺管列（5）同轴线设置，所述红外线发生器（17）与取送料口（16）同轴线设置。

3.根据权利要求1所述的一种高产能低压扩散设备，其特征在于：所述控制装置（13）通过连接线与第二红外线接收器（9）、第一红外线接收器（10）和红外线发生器（17）电性连接，所述控制装置（13）与取送料机构（15）内部的控制系统相连接。

4.根据权利要求1所述的一种高产能低压扩散设备，其特征在于：所述第一工艺管列（4）和第二工艺管列（5）均纵向排列并且对称设置，所述取送料口（16）与第一工艺管列（4）和第二工艺管列（5）相配合。

5.根据权利要求1所述的一种高产能低压扩散设备，其特征在于：所述加固钢板（11）通过螺钉与低压扩散炉主体（1）的表面相连接，所述电动伸缩柱（12）的伸缩端与加固钢板（11）的中心位置相连接。