[实用新型]静电吸附装置

摘要

本实用新型提供一种静电吸附装置，包括：静电吸附盘；至少3个可上下活动翻转连接于静电吸附盘侧壁的夹具，且夹具沿静电吸附盘的周向间隔排布，夹具的连接端与静电吸附盘的侧壁活动连接；夹具从下向上翻转过来后，夹具的自由端均与晶圆接触，自由端与晶圆接触的点在同一个圆周上且与晶圆的直径相等，同时圆周的圆心与晶圆及静电吸附盘的圆心的正投影重合。通过在静电吸附盘的侧壁连接夹具以调节晶圆在传送过程中产生的位置偏移，改善了晶圆在后续工艺中的均匀度，提高了后续工艺的稳定性；另外夹具是通过推动所述晶圆的调节方式完成，而不是现有技术中采用夹紧的调节方式，大大减小了夹具对晶圆的磨损，提高产品良率。

主权项

1.一种静电吸附装置，其特征在于，所述静电吸附装置包括：静电吸附盘；至少3个可上下活动翻转连接于所述静电吸附盘的侧壁的夹具，且所述夹具沿所述静电吸附盘的周向间隔排布，所述夹具具有连接端及调节晶圆位置的自由端，所述连接端与所述静电吸附盘的侧壁活动连接；所述夹具从下向上翻转过来后，所述自由端均与所述晶圆接触，所述自由端与所述晶圆接触的点在同一个圆周上，且所述圆周的直径与所述晶圆的直径相等，同时所述圆周的圆心与所述晶圆的圆心及所述静电吸附盘的圆心的正投影重合。